[發明專利]存儲器件及其制備方法

在審

• 申請號: 202111160792.5
• 申請日: 2021-09-30
• 公開（公告）號: CN113903374A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 鄭鐘倍
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: G11C7/18
• 分類號: G11C7/18;G11C8/14;H01L25/00;H01L25/18
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 孟霞

1.一種存儲器件，其特征在于，包括：

第一芯片，所述第一芯片包括存儲陣列，所述存儲陣列包括至少一個存儲塊，所述存儲塊包括多條沿第一方向延伸的字線和多條沿第二方向延伸的位線；

第二芯片，沿第三方向疊置于所述第一芯片的上方，所述第二芯片包括與所述存儲塊電性連接的第一局部位線譯碼器、第二局部位線譯碼器、第一字線譯碼器以及第二字線譯碼器，所述第二芯片具有所述存儲塊的俯視投影區域，且所述第一局部位線譯碼器、所述第二局部位線譯碼器、所述第一字線譯碼器以及所述第二字線譯碼器在所述俯視投影區域中分別形成互不疊置的第一局部位線譯碼器區塊、第二局部位線譯碼器區塊、第一字線譯碼器區塊以及第二字線譯碼器區塊。

2.根據權利要求1所述的存儲器件，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一局部位線譯碼器區塊的第一長度與所述第二局部位線譯碼器區塊的第二長度之和小于或者等于所述俯視投影區域的長度，且所述第一局部位線譯碼器區塊與所述第二局部位線譯碼器區塊在所述第二方向上的投影互不重疊；在所述第二方向上，所述第一字線譯碼器區塊的第三長度與所述第二字線譯碼器區塊的第四長度之和小于或者等于所述俯視投影區域的寬度，且所述第一字線譯碼器區塊與所述第二字線譯碼器區塊在所述第一方向上的投影互不重疊。

3.根據權利要求2所述的存儲器件，其特征在于，所述第一長度異于所述第二長度；且所述第三長度異于所述第四長度。

4.根據權利要求2所述的存儲器件，其特征在于，多條所述位線中的一部分與所述第一局部位線譯碼器電性連接，多條所述位線中的另一部分與所述第二局部位線譯碼器電性連接；

多條所述字線中的一部分與所述第一字線譯碼器電性連接，多條所述字線中的另一部分與所述第二字線譯碼器電性連接。

5.根據權利要求2所述的存儲器件，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一字線譯碼器區塊位于所述俯視投影區域沿所述第二方向延伸的第一邊緣與所述第一局部位線譯碼器區塊之間，且所述第一局部位線譯碼器區塊在所述第二方向上的寬度小于所述第一字線譯碼器區塊在所述第二方向上的長度；在所述第二方向上，所述第一字線譯碼器區塊位于所述俯視投影區域沿所述第一方向延伸的第二邊緣與所述第二局部位線譯碼器區塊之間，且所述第二局部位線譯碼器區塊在所述第一方向上的長度大于所述第一字線譯碼器區塊在所述第一方向上的寬度。

6.根據權利要求5所述的存儲器件，其特征在于，在所述第一方向上，所述第二字線譯碼器區塊位于所述俯視投影區域沿所述第二方向延伸的第三邊緣與所述第二局部位線譯碼器區塊之間，且所述第二局部位線譯碼器區塊在所述第二方向上的寬度小于所述第二字線譯碼器區塊在所述第二方向上的長度；在所述第二方向上，所述第二字線譯碼器區塊位于所述俯視投影區域沿所述第一方向延伸的第四邊緣與所述第一局部位線譯碼器區塊之間，且所述第一局部位線譯碼器區塊在所述第一方向上的長度大于所述第二字線譯碼器區塊在所述第一方向上的寬度。

7.根據權利要求4所述的存儲器件，其特征在于，所述第一局部位線譯碼器、所述第二局部位線譯碼器均具有多個第一傳輸端，一所述第一傳輸端通過一第一硅穿孔或者一對第一鍵合焊盤與一所述位線電性連接。

8.根據權利要求7所述的存儲器件，其特征在于，所述第一字線譯碼器、所述第二字線譯碼器均具有多個第二傳輸端，一所述第二傳輸端通過一第二硅穿孔或者一對第二鍵合焊盤與一所述字線電性連接。

9.根據權利要求7或者8所述的存儲器件，其特征在于，所述第一芯片包括第一鍵合層，所述第一鍵合層包括至少一個所述第一鍵合焊盤和/或所述第二鍵合焊盤；所述第二芯片包括第二鍵合層，所述第二鍵合層包括至少一個所述第一鍵合焊盤和/或所述第二鍵合焊盤；鍵合位于所述第一鍵合層的第一鍵合焊盤與位于所述第二鍵合層的第一鍵合焊盤，和/或，鍵合位于所述第一鍵合層的第二鍵合焊盤與位于所述第二鍵合層的第二鍵合焊盤。