[發明專利]一種提高三氯氫硅品質的方法有效
| 申請號： | 202111158816.3 | 申請日： | 2021-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN113716570B | 公開（公告）日： | 2023-08-01 |
| 發明（設計）人： | 官健;劉逸楓;羅軒;袁野;鐘國俊 | 申請（專利權）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 向丹 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 三氯氫硅 品質 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高三氯氫硅品質的方法，其特征在于：將合成精餾中提純三氯氫硅時脫重得到的三氯氫硅重組分與四氯化硅產品液按3～5∶2～3.3的體積比進行混合，所述四氯化硅產品液來自合成精餾中四氯化硅脫高時得到的四氯化硅重組分，經渣漿處理后而得到；
將三氯氫硅重組分與四氯化硅產品液混合得到的混合液通過冷卻器控制溫度在60～70℃后，送入吸附樹脂柱進行處理，得到硼含量≤0.3ppb?、磷含量≤1.3ppb的硅烷物料；
將吸附樹脂柱處理后的硅烷物料送入反歧化樹脂柱，在40～70℃的溫度下進行反歧化催化反應，得到有機硅含量≤50ppm的硅烷物料，并作為合成精餾原料循環使用；
將上述流程在合成精餾中持續循環，以控制合成精餾得到的精制三氯氫硅物料中硼含量≤0.06ppb、磷含量為0.2～0.5ppb、有機硅含量為1～5ppm。
2.根據權利要求1所述的一種提高三氯氫硅品質的方法，其特征在于：所述吸附樹脂柱采用除硼螯合吸附材料。
3.根據權利要求1所述的一種提高三氯氫硅品質的方法，其特征在于：所述反歧化樹脂柱采用反歧化催化劑。
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