[發明專利]供膜裝置及預剝膜機臺

在審

• 申請號: 202111155585.0
• 申請日: 2021-09-29
• 公開（公告）號: CN115881579A
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 石敦智;林語尚;魏榮良
• 申請（專利權）人: 均華精密工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 王博

1.一種供膜裝置，其特征在于，所述供膜裝置包括：

一機臺本體；

一料件模塊，可分離地架設于所述機臺本體；其中，所述料件模塊包含有一承載片及貼附于所述承載片上的多個膜片；

多個滾軸，可滾動地安裝于所述機臺本體，并且多個所述滾軸共同定義出一輸送路徑；其中，所述承載片能在所述輸送路徑上移動；以及

一預剝離件，固定于所述機臺本體；其中，所述預剝離件具有位于所述輸送路徑上的一轉折邊緣；

其中，當多個所述滾軸驅使所述承載片沿著所述輸送路徑移動時，分別位在所述轉折邊緣相反兩側的所述承載片的兩個部分形成有小于180度的一轉折角，以使鄰近所述轉折邊緣的多個所述膜片分別于不同時間點經過所述轉折邊緣而逐個自所述承載片分離。

2.根據權利要求1所述的供膜裝置，其特征在于，多個所述膜片沿非平行于所述輸送路徑的一排列方向排成多列，并且所述轉折邊緣與所述排列方向相夾有一銳角。

3.根據權利要求2所述的供膜裝置，其特征在于，所述排列方向垂直于所述輸送路徑，并且所述銳角介于3度～30度。

4.根據權利要求2所述的供膜裝置，其特征在于，所述排列方向非垂直于所述輸送路徑，并且所述銳角介于30度～45度。

5.根據權利要求2所述的供膜裝置，其特征在于，所述轉折邊緣非垂直于所述輸送路徑，并且所述轉折邊緣與所述輸送路徑形成有介于45度～60度的一夾角。

6.根據權利要求1所述的供膜裝置，其特征在于，所述供膜裝置包含有安裝于所述機臺本體的一影像擷取器，并且所述影像擷取器的位置對應于所述輸送路徑并位于所述轉折邊緣的上游，用以擷取多個所述膜片移動經過所述轉折邊緣前的位置。

7.根據權利要求6所述的供膜裝置，其特征在于，所述機臺本體包含有能移動所述預剝離件與至少部分所述料件模塊的一橫移機構；其中，經過所述轉折邊緣而逐個自所述承載片分離的多個所述膜片能通過所述橫移機構依據所述影像擷取器而逐個移動至取膜位置。

8.根據權利要求1所述的供膜裝置，其特征在于，所述供膜裝置包含有安裝于所述機臺本體的一張力調整機構，并且所述張力調整機構的位置對應于所述輸送路徑并位于所述轉折邊緣的下游，用以使所述承載片的兩個所述部分的張力值維持相同。

9.根據權利要求1所述的供膜裝置，其特征在于，所述料件模塊包含有：

一卷放器，安裝于所述機臺本體且位于所述輸送路徑的起點，所述承載片及多個所述膜片卷繞于所述卷放器，并且所述卷放器用以傳輸所述承載片及多個所述膜片至所述輸送路徑；及

一卷收器，安裝于所述機臺本體且位于所述輸送路徑的終點，并且所述卷放器用來卷收移動經過所述轉折邊緣的所述承載片。

10.一種預剝膜機臺，其特征在于，所述預剝膜機臺包括：

一機臺本體；

多個滾軸，可滾動地安裝于所述機臺本體并且多個所述滾軸共同定義出一輸送路徑；以及

一預剝離件，固定于所述機臺本體，并且所述預剝離件具有位于所述輸送路徑上的一轉折邊緣；

其中，多個所述滾軸能用以供貼附有多個膜片的一承載片沿著所述輸送路徑移動，并且所述轉折邊緣能用來使位于所述轉折邊緣的相反兩側的所述承載片的兩個部分形成有小于180度的一轉折角，以使鄰近所述轉折邊緣的多個所述膜片分別于不同時間點經過所述轉折邊緣而逐個自所述承載片分離。

11.根據權利要求10所述的預剝膜機臺，其特征在于，所述轉折邊緣非垂直于所述輸送路徑，并且所述轉折邊緣與所述輸送路徑形成有介于45度～60度的一夾角。