[發(fā)明專利]一種高純鉭靶材的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111153226.1
• 申請(qǐng)日: 2021-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN114457314A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王亞峰;王占衛(wèi);彭立培;冀嘉梁;梁樹嶧;林坤;張長(zhǎng)金;孫秋麗;李丹丹;郭曉彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C16/01;C23C16/14;C21D8/02;C22F1/18;C22F1/02
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 周蜜;仇蕾安

1.一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：所述方法步驟如下：

(1)基體溫度為500℃～1200℃時(shí)，放置在真空條件下，以五氟化鉭和氫氣為反應(yīng)原料，或五氯化鉭和氫氣為反應(yīng)原料進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，再通過(guò)線切割加工去基體，得到純度為99.999％以上的高純鉭板；

基體為銅、鉭、鎳、鈦、不銹鋼、石墨或合金材料；

五氟化鉭或五氯化鉭的純度為99.0％～99.9999％，氫氣的純度為99.0％～99.9999％；

氫氣與五氟化鉭的摩爾比為2:1～8:1；

氫氣與五氯化鉭的摩爾比為2:1～8:1；

(2)將所述高純鉭板進(jìn)行軋制，軋制加熱溫度為1000℃～1700℃，保溫時(shí)間為10min～180min，得到軋制坯料；

(3)將所述軋制坯料在真空或惰性氣體氣氛保護(hù)下進(jìn)行熱處理，熱處理溫度為1000℃～1800℃，熱處理保溫時(shí)間為1h～10h，再結(jié)晶，得到鉭靶坯料，經(jīng)過(guò)機(jī)械加工，將加工后的鉭靶坯料與背板焊接得高純鉭靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)壓力為0.01MPa～0.5MPa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，所述高純鉭板的厚度為15mm～80mm，沉積時(shí)間是30h～400h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)壓力為0.01MPa～0.5MPa；所述高純鉭板的厚度為15mm～80mm，沉積時(shí)間是30h～400h。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，軋制加熱溫度為1100℃～1500℃，保溫時(shí)間為30min～120min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，軋制道次為2次～8次，每道次軋制變形量為10％～50％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(2)中，軋制加熱溫度為1100℃～1500℃，保溫時(shí)間為30min～120min；軋制道次為2次～8次，每道次軋制變形量為10％～50％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(3)中，熱處理溫度為1200℃～1600℃，熱處理保溫時(shí)間為2h～5h。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純鉭靶材的制備方法，其特征在于：步驟(1)中，化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)壓力為0.01MPa～0.5MPa；所述高純鉭板的厚度為15mm～80mm，沉積時(shí)間是30h～400h；

(2)中，軋制加熱溫度為1100℃～1500℃，保溫時(shí)間為30min～120min；軋制道次為2次～8次，每道次軋制變形量為10％～50％；

步驟(3)中，熱處理溫度為1200℃～1600℃，熱處理保溫時(shí)間為2h～5h。