[發明專利]一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置及檢測方法

在審

• 申請號: 202111147829.0
• 申請日: 2021-09-29
• 公開（公告）號: CN114061648A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 石鍺元;陳茂雄;李君;肖偉
• 申請（專利權）人: 君原電子科技（海寧）有限公司
• 主分類號: G01D21/00
• 分類號: G01D21/00
• 代理公司: 北京喆翙知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 李燦

本發明公開了一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置及檢測方法，屬于靜電卡盤技術領域，包括機架，所述機架上設有靜電卡盤放置組件，所述靜電卡盤放置組件包括支撐盤，所述支撐盤上設有第一通孔，所述支撐盤的下側壁上設有供熱組件，所述供熱組件與所述第一通孔連通，所述支撐盤的上方設有檢測組件，所述檢測組件與所述支撐盤通過支撐架連接，所述支撐架與所述機架鉸接。

技術領域

本發明涉及靜電卡盤技術領域，特別涉及一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置及檢測方法。

背景技術

靜電吸盤上設有若干軸線方向上的通孔，由于通孔的孔徑小，且通孔的長度相對較長，因此，不容易直接用眼睛觀察出來該通孔是否被堵塞，若該通孔堵塞則會影響靜電吸盤的使用，因此需要一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置及檢測方法，來判斷靜電吸盤上的通孔是否被堵塞，以便于進行下一步的工作。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置及檢測方法，能夠對靜電卡盤是否堵塞進行檢測。

為了解決上述技術問題，本發明的技術方案為：

一方面，本發明提供一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置，包括機架，所述機架上設有靜電卡盤放置組件，所述靜電卡盤放置組件包括支撐盤，所述支撐盤上設有第一通孔，所述支撐盤的下側壁上設有供熱組件，所述供熱組件與所述第一通孔連通，所述支撐盤的上方設有檢測組件，所述檢測組件與所述支撐盤通過支撐架連接，所述支撐架與所述機架鉸接。

優選的，所述供熱組件包括與所述第一通孔連通的供熱管，所述供熱管的一端與所述第一通孔連通，所述供熱管的另一端與供熱件連通。

優選的，所述供熱件包括盛水容器，所述盛水容器與所述供熱管連通，所述盛水容器中設有加熱件。

優選的，所述供熱管上設有加水管，所述加水管上設有閥門。

優選的，所述檢測組件包括中空的冷卻管，所述支撐架上設有第二通孔，所述冷卻管與所述第二通孔連通。

優選的，所述冷卻管的外側壁上設有冷卻劑放置管，所述冷卻管套設在所述冷卻劑放置管中。

另一方面，本發明提供一種檢測方法，所述方法包括以下步驟：

靜電卡盤平放在所述支撐盤上，找到靜電卡盤細孔所在的位置，將所述靜電卡盤細孔的下端與所述第一通孔相對；

供熱組件開始工作，為所述靜電卡盤細孔的下方提供熱的水蒸氣，水蒸氣通過所述第一通孔進入到所述靜電卡盤細孔中；

通過觀察所述冷卻管中是否有白霧來判斷所述靜電卡盤的細管是否堵塞。

采用上述技術方案，由于設有靜電卡盤放置組件，使得可以放置靜電卡盤，以便于對靜電卡盤進行細孔堵塞的檢測，由于設有供熱組件，使得可以為檢測提供水蒸氣用于堵塞檢測，由于設有檢測組件，使得可以判斷出靜電卡盤細孔是否堵塞。

附圖說明

圖1為本發明一種靜電卡盤細孔堵塞檢測裝置的部分剖視結構示意圖；

圖2為本發明為圖1中A的放大結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步說明。在此需要說明的是，對于這些實施方式的說明用于幫助理解本發明，但并不構成對本發明的限定。此外，下面所描述的本發明各個實施方式中所涉及的技術特征只要彼此之間未構成沖突就可以相互組合。