[發明專利]一種快速響應的靜電吸附裝置及靜電吸附方法

有效

• 申請號: 202111135729.6
• 申請日: 2021-09-27
• 公開（公告）號: CN113928857B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 漆明凈;楊翔宇;閆曉軍;劉志偉
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: B65G47/92
• 分類號: B65G47/92
• 代理公司: 浙江維創盈嘉專利代理有限公司 33477
• 代理人: 劉亞竹;龔子雄

1.一種快速響應的靜電吸附裝置，其特征在于,包括,

靜電吸附單元（30），所述靜電吸附單元（30）包括第一電極（34）和第二電極（32）；

供電單元，所述供電單元包括供電電容（10）；

解吸單元，所述解吸單元包括平行極板（20），平行極板（20）包括平行設置的第一極板（21）和第二極板（23），其中，第二極板（23）與供電電容（10）相連，導電懸臂梁（24）的一端設置為固定端，另一端設置為自由端，自由端至少部分置于第一極板（21）和第二極板（23）之間，并且自由端能夠被第一極板（21）和第二極板（23）激勵而產生振動；導電懸臂梁（24）的固定端在平行極板（20）之外，自由端能夠在第一極板（21）和第二極板（23）之間振動且在最大振幅處能夠接觸到兩側極板；

其中，當靜電吸附裝置執行吸附操作時，供電電容（10）對第一電極（34）和第二電極（32）供電；當靜電吸附裝置執行解吸操作時，解吸單元與第一電極（34）和第二電極（32）相連；解吸單元的第一極板（21）與第二電極（32）的第二電極端子（25）相連。

2.根據權利要求1所述的一種快速響應的靜電吸附裝置，其特征在于，還包括：

第一電極（34）和第二電極（32）均采用梳齒型結構，且兩者互相嵌入對方的梳齒間隙中。

3.根據權利要求1所述的一種快速響應的靜電吸附裝置，其特征在于，供電單元與解吸單元擇一接入靜電吸附單元（30）所在電路中，從而實現靜電吸附或解吸操作。