[發明專利]一種寬量程熱偶真空計

在審

• 申請號: 202111130786.5
• 申請日: 2021-09-26
• 公開（公告）號: CN113865784A
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 林紅;任元國;梁盈盈;李濘
• 申請（專利權）人: 成都國光電氣股份有限公司
• 主分類號: G01L21/14
• 分類號: G01L21/14
• 代理公司: 成都華風專利事務所(普通合伙) 51223
• 代理人: 張巨箭

1.一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：其包括：

真空規管，能夠在不同真空度的測量環境下，根據恒定加熱電流產生不同電動勢的電信號；

加熱電流供給單元，包括順次連接的信號處理模塊和加熱電流提供模塊；所述信號處理模塊與真空規管輸出端連接，用于將真空規管輸出的電信號與基準電壓信號進行減法運算處理，得到能夠保證燈絲恒溫的第一電信號；所述加熱電流提供模塊輸出端與真空規管連接，用于根據第一電信號向真空規管提供能夠保證燈絲恒溫的第一加熱電流；

模數轉換單元，與信號處理模塊輸出端連接，用于將信號處理模塊輸出的模擬態的第一電信號轉換為數字信號；

主控單元，經模數轉換單元與信號處理模塊連接，用于對數字信號進行處理進而計算出當前測量環境的真空度信息。

2.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述加熱電流供給單元還包括信號放大模塊，設于真空規管輸出端與信號處理模塊輸入端之間。

3.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述信號處理模塊為加法運算電路或減法運算電路；所述加熱電流提供模塊包括順次連接的電壓跟隨電路與第一開關器件，或加熱電流提供模塊包括順次連接的恒流電路與第一開關器件。

4.根據權利要求3所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述真空計還包括斷耦檢測單元，包括并聯連接的壓差感知元件和第一光電轉換器，壓差感知元件與真空規管輸入端連接，光電轉換器輸出端與主控單元連接。

5.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述真空計還包括驅動控制單元，包括順次連接的第二光電轉換器和第二開關器件，光電轉換器與主控單元輸出端連接，第二開關器件與外部系統的中間驅動開關連接。

6.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述模擬量輸出選擇單元，包括順次連接的數模轉換模塊和模擬量輸出模塊；

所述數模轉換模塊與主控單元輸出端連接，用于將主控單元輸出的能夠表征當前測量環境的真空度信息的數字信號轉換為模擬信號并傳輸至模擬量輸出模塊；所述模擬量輸出模塊用于將數模轉換模塊輸出的模擬信號進行選擇處理，輸出用戶所需的能夠保證當前測量環境真空度的電壓信號或電流信號。

7.根據權利要求6所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述模擬量輸出模塊包括運算放大電路、電流放大電路、電壓跟隨電路和信號選擇電路，運算放大電路、電流放大電路順次連接，電流放大電路輸出端經一阻性元件分別連接至電壓跟隨電路一輸入端和信號選擇電路，電壓跟隨電路另一輸入端、電壓跟隨電路輸出端均連接至運算放大電路輸入端，信號選擇電路輸出端連接至主控單元。

8.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述真空計還包括按鍵單元，與主控單元輸入端連接。

9.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述真空計還包括通信單元，與主控單元雙向連接。

10.根據權利要求1所述的一種寬量程熱偶真空計，其特征在于：所述真空計還包括顯示單元，與主控單元輸出端連接。