[發明專利]一種多層復合膜及其制備方法

在審

• 申請號: 202111127420.2
• 申請日: 2021-09-26
• 公開（公告）號: CN113832441A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 鄧洪運;劉曙光;許奎雪;史春生
• 申請（專利權）人: 北京市春立正達醫療器械股份有限公司;邢臺市瑯泰本元醫療器械有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14
• 代理公司: 北京中和立達知識產權代理有限公司 11756
• 代理人: 祝妍

1.一種多層復合膜，其特征在于：包括過渡層和與其層疊的多層膜層，其中，所述多層膜層包括交替沉積的Ta、TaN膜層，且Ta、TaN膜層的厚度比為1:1。

2.根據權利要求1所述一種多層復合膜，其特征在于：所述過渡層為Ti/TiN/TaN或Ti-5Ta。

3.根據權利要求1所述一種多層復合膜，其特征在于：所述過渡層層疊于鈦合金基底。

4.制備權利要求1-3任一所述一種多層復合膜的方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1、將靶材更換至磁控濺射設備中；

S2、打磨基底、并拋光；

S3、將步驟上獲得的基底進行酸洗，超聲、吹干備用；

S4、對沉積室進行抽真空處理，清洗基底、濺射鍍膜。

5.根據權利要求3所述方法，其特征在于：所述基底為鈦合金。

6.根據權利要求3所述方法，其特征在于：步驟S2中，分別使用400#、600#、800#、1000#、1200#、1500#、2000#砂紙對鈦合金進行打磨處理。

7.根據權利要求3所述方法，其特征在于：步驟S3中，使用腐蝕液進行酸洗，且腐蝕液由硝酸、氫氟酸和去離子水制成，其溶液體積比為5:5:90，酸洗時間為14-16min。

8.根據權利要求3所述方法，其特征在于：步驟S3中，分別使用酒精、去離子水對鈦合金進行超聲波清洗，分別清洗9-11min。

9.根據權利要求3所述方法，其特征在于：步驟S4中，對沉積室進行抽真空處理，真空抽至2*10^-3Pa后，開啟加熱裝置，使沉積腔溫度升高至300℃，當真空度達到2*10^-3Pa后，設置沉積溫度為120℃，通入氬氣100sccm，當溫度降到120℃時，關閉通氣閥門，抽真空20min后，通入氬氣100sccm，充氣持續20min，然后關閉氬氣閥門繼續抽真空，重復2或3次。

10.根據權利要求3所述方法，其特征在于：步驟S4中，濺射鍍膜，具體是在基底上依次鍍設過渡層和多層膜層。