[發(fā)明專利]一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置

有效

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• 申請日: 2021-09-24
• 公開（公告）號: CN113846306B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設計）人: 蘇艷波;呂明;張艷鵬;孫海榮
• 申請（專利權）人: 北京北方華創(chuàng)真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 張嶺

1.一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：設置在相鄰兩個腔室之間；包括設置在濺鍍室上并與濺鍍室連通的真空法蘭(1)；真空法蘭(1)的一端設置有兩個軸線平行設置的外筒(2)，外筒(2)具有彈性，兩個外筒(2)的周面之間存在供柔性薄膜(15)通過的空隙；外筒(2)靠近真空法蘭(1)的一側設置有固定在真空法蘭(1)端面上的密封筒(3)，密封筒(3)套設在外筒(2)上且密封筒(3)的徑向截面形狀為圓弧形，密封筒(3)周向的兩端固定有與外筒(2)周面貼合并能夠相對滑動的擋片(4)；真空鎖裝置還包括用于向外筒(2)內(nèi)部充放氣的充氣組件(5)，以及用于驅動兩個外筒(2)相向等速并圍繞自身軸線定軸轉動的驅動機構(6)；

當兩個外筒(2)內(nèi)部充滿氣體并發(fā)生膨脹時，柔性薄膜(15)被壓緊在兩個外筒(2)之間。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：驅動機構(6)驅動外筒(2)的周面切向速度等于柔性薄膜(15)的走速；驅動機構(6)包括動力組件以及與密封筒(3)端面固接的端頭法蘭(61)，端頭法蘭(61)內(nèi)部轉動連接有兩個中心軸(62),兩個中心軸(62)分別與相應的外筒(2)端面同軸固接；每個中心軸(62)上同軸固接有驅動齒輪(63)，兩個驅動齒輪(63)相互嚙合；動力組件用于驅動驅動齒輪(63)圍繞自身軸線定軸轉動。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：外筒(2)內(nèi)部同軸設置有內(nèi)筒(7)，中心軸(62)與內(nèi)筒(7)的端面固接，內(nèi)筒(7)的周面上開設有多個充氣孔(71)，內(nèi)筒(7)的外壁與外筒(2)的內(nèi)壁之間存在空隙；充氣組件(5)包括同軸轉動連接在中心軸(62)內(nèi)部的進氣軸(51)，進氣軸(51)與端頭法蘭(61)之間位置固定，進氣軸(51)上開設有與內(nèi)筒(7)內(nèi)部連通的中心孔(511)，中心孔(511)連通有氣源。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：內(nèi)筒(7)內(nèi)部設置有固定在進氣軸(51)上的永磁鐵(9)，永磁鐵(9)沿內(nèi)筒(7)的軸線方向延伸；永磁鐵(9)的兩極均沿內(nèi)筒(7)的徑向延伸且兩極之間存在夾角；密封筒(3)為導磁剛性材質制成的密封筒(3)，密封筒(3)的內(nèi)壁與外筒(2)的外壁之間存在空隙并填充有磁液(10)，密封筒(3)的內(nèi)壁上成型有兩個凸起組件(31)，兩個凸起組件(31)分別與永磁鐵(9)的兩極相對設置，凸起組件(31)包括多個沿密封筒(3)周向間隔分布的凸起(311)。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：永磁鐵(9)的端部與進氣軸(51)靠近內(nèi)筒(7)的一端固定連接。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：中心軸(62)靠近內(nèi)筒(7)的一端開設有充氣腔(621)，充氣腔(621)與內(nèi)筒(7)內(nèi)部連通；進氣軸(51)上開設有貫穿進氣軸(51)周面并與中心孔(511)連通的進氣孔(512)，進氣孔(512)與充氣腔(621)連通。

7.根據(jù)權利要求3或6所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：端頭法蘭(61)背離內(nèi)筒(7)的一端固定有端頭蓋(11)，驅動齒輪(63)被罩設在端頭蓋(11)內(nèi)部，進氣軸(51)貫穿端頭蓋(11)的端面并向端頭蓋(11)外部延伸；端頭蓋(11)上固定有用于夾緊進氣軸(51)的卡子(12)。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：密封筒(3)沿自身周向的兩端設置有彈性片(8)，彈性片(8)向背離密封筒(3)軸線的方向隆起；彈性片(8)沿自身周向的一端與擋片(4)固接，另一端與密封筒(3)的外壁固接。

9.根據(jù)權利要求2所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：中心軸(62)的周面與端頭法蘭(61)的內(nèi)壁之間設置有同軸套設在中心軸(62)上的第一密封件(13)。

10.根據(jù)權利要求3或6所述的一種應用于柔性鍍膜設備的真空鎖裝置，其特征在于：中心軸(62)與進氣軸(51)之間設置有同軸套設在進氣軸(51)上的第二密封件(14)。