[發明專利]一種探針卡針腳修復整形裝置

在審

• 申請號: 202111112403.1
• 申請日: 2021-09-23
• 公開（公告）號: CN113937593A
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 萬士元;沈達;錢宇
• 申請（專利權）人: 吾拾微電子（蘇州）有限公司
• 主分類號: H01R43/16
• 分類號: H01R43/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，包括作業臺、鏡座、麥拉校準座、探針卡托架、氣動夾具、顯微鏡、折射補償機構、麥拉片載具、光軸、校準機構，所述作業臺外側配套設置鏡座和麥拉校準座，所述作業臺臺面兩側對稱布置一對探針卡托架，所述探針卡托架集成有氣動夾具，所述探針卡托架之間豎直向下布置有設置在鏡座上的顯微鏡，所述顯微鏡鏡頭處外掛有折射補償機構，所述折射補償機構的正下方水平布置有麥拉片載具，所述麥拉片載具設置在水平布置的光軸的一端外周面，所述光軸通過校準機構活動架設在麥拉校準座上。

2.根據權利要求1 所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述鏡座由支架和三軸滑臺組成，所述支架頂端安裝有三軸滑臺，所述三軸滑臺上安裝有顯微鏡。

3.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述折射補償機構由掛板、加載氣缸、補償滑板組成，所述掛板設置在顯微鏡鏡頭處，所述掛板的底面設置有由加載氣缸驅動的補償滑板，所述補償滑板上設置有折射補償玻璃片卡槽，所述折射補償玻璃片卡槽匹配在所述顯微鏡的光路上。

4.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述氣動夾具由探針卡壓板和升降氣缸組成，所述升降氣缸豎直向上內嵌于探針卡托架內，所述探針卡壓板水平設置在探針卡托架的正上方并且與升降氣缸相連。

5.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述校準機構由三軸微調平臺、轉接板、軸承、撥輪、同步凸輪、檢測開關組成，

所述麥拉校準座上設置三軸微調平臺，所述三軸微調平臺連接轉接板，所述轉接板上設置軸承，所述軸承套接光軸，所述光軸的另一端同軸設置撥輪和同步凸輪，所述轉接板上設置有匹配同步凸輪的檢測開關，所述檢測開關通過電磁閥與折射補償機構電性連接。

6.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述作業臺下方設置有深溝球軸承，所述深溝球軸承下設連接有兩軸平移滑臺，所述兩軸平移滑臺設置有x軸向螺旋測微器、y軸向螺旋測微器以及角度調節螺旋測微器，所述兩軸平移滑臺邊緣為每個x軸向螺旋測微器、y軸向螺旋測微器、角度調節螺旋測微器配備反向外接的復位彈簧。

7.根據權利要求5所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述軸承由同心結構的雙頭軸座和四個角接觸軸承組成，所述同心結構的雙頭軸座安裝在轉接板上，所述角接觸軸承兩兩同軸固定在同心結構的雙頭軸座的兩端。

8.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述作業臺上開設有槽孔，所述槽孔內配有限位螺栓，所述探針卡托架通過限位螺栓固定在槽孔內。

9.根據權利要求7所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述同心結構的雙頭軸座的外端設置有一對限位擋桿，所述光軸上設置有與所述限位擋桿配合的擺桿，所述擺桿在限位擋桿之間隨撥輪有限擺動。

10.根據權利要求1所述的探針卡針腳修復整形裝置，其特征在于，所述三軸滑臺上設置有一對球頭控制桿，所述球頭控制桿對稱布置在顯微鏡兩側。