[發(fā)明專利]一種光刻機掩模臺隔振裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111110724.8
• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113848684B
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳劍威;李昌其;張銀;晏禎卓;潘健生;趙鵬越;譚久彬
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱華夏松花江知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 23213
• 代理人: 岳昕

1.一種光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，包括：掩模臺基座，投影物鏡套筒，以及連接所述掩模臺基座及所述投影物鏡套筒的連接裝置；

所述連接裝置包括第一支撐組件、第二支撐組件及第三支撐組件，所述第一支撐組件、所述第二支撐組件及所述第三支撐組件處于同一平面，所述第一支撐組件包括：第一底部連接部、第一頂部連接部及第一柔性片，所述第一柔性片豎直布置，所述第一柔性片的上下兩側(cè)分別連接所述第一底部連接部及所述第一頂部連接部，所述第一頂部連接部與所述掩模臺基座相連，所述第一底部連接部與所述投影物鏡套筒相連；

所述第二支撐組件包括：第二底部連接部、第二頂部連接部及第二柔性片，所述第二柔性片豎直布置，所述第二柔性片的上下兩側(cè)分別連接所述第二底部連接部及所述第二頂部連接部，所述第二頂部連接部與所述掩模臺基座相連，所述第二底部連接部與所述投影物鏡套筒相連；

所述第三支撐組件包括：第三底部連接部、第三頂部連接部及第三柔性片，所述第三柔性片豎直布置，所述第三柔性片的上下兩側(cè)分別連接所述第三底部連接部及所述第三頂部連接部，所述第三頂部連接部與所述掩模臺基座相連，所述第三底部連接部與所述投影物鏡套筒相連，所述第一柔性片、所述第二柔性片與所述第三柔性片的厚度比為2:1:1，且所述第二柔性片與所述第三柔性片結(jié)構(gòu)相同，三個連接板分別連接于所述第一頂部連接部與所述掩模臺基座之間、所述第二頂部連接部與所述掩模臺基座之間以及所述第三頂部連接部與所述掩模臺基座之間，且三個所述連接板的面積均大于所述第一頂部連接部、所述第二頂部連接部以及所述第三頂部連接部的面積；

沿所述連接裝置的俯視方向觀察：

沿所述第一柔性片的長度方向延伸形成第一連接線，沿所述第二柔性片的長度方向延伸形成第二連接線，沿所述第三柔性片的長度方向延伸形成第三連接線，所述第一連接線、所述第二連接線與所述第三連接線之間圍合形成經(jīng)過所述第一柔性片、所述第二柔性片及所述第三柔性片的等腰三角形，其中，所述第一連接線形成所述等腰三角形的底邊，且所述第一柔性片的橫截面的幾何中心到所述第二柔性片的橫截面的幾何中心的距離，與所述第一柔性片的橫截面的幾何中心到所述第三柔性片的橫截面的幾何中心的距離相等。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述等腰三角形的頂角為60°-120°。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述等腰三角形的頂角為80°-100°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述第一底部連接部的底面上設(shè)有第一定位銷孔，所述第三底部連接部的底面上設(shè)有第二定位銷孔，且所述第一定位銷孔為圓形孔，所述第二定位銷孔為腰形孔，所述投影物鏡套筒的頂面的相應(yīng)位置設(shè)有定位銷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述掩模臺基座的幾何中心、所述等腰三角形的幾何中心以及所述投影物鏡套筒的中心軸線位于一條直線上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述第一柔性片的厚度為2-4mm，所述第二柔性片和所述第三柔性片的厚度均為1-2mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述連接裝置的材料為彈簧鋼、不銹鋼或殷鋼。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機掩模臺隔振裝置，其特征在于，所述第一底部連接部與所述第一頂部連接部在水平方向垂直布置，所述第二底部連接部與所述第二頂部連接部在水平方向垂直布置，所述第三底部連接部與所述第三頂部連接部在水平方向垂直布置。