[發明專利]一種微動臺氣浮支撐裝置

有效

• 申請號: 202111110621.1
• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113917795B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 吳劍威;趙鵬越;劉江;鄭健;王繼堯;李昌其;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;宋亞楠

1.一種微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，包括基座、能夠在所述基座上懸浮的氣浮模塊、以及位于所述氣浮模塊上的連接結構，所述氣浮模塊用于支撐所述連接結構，所述連接結構用于支撐微動臺；

所述氣浮模塊包括外部框架、負壓調節框架及負壓調節板，所述負壓調節框架設于所述外部框架的上端，所述負壓調節板與所述負壓調節框架的下端面貼合連接；所述負壓調節框架通過若干個調平螺栓與所述外部框架相連接；

所述外部框架的外側設有正壓進氣孔和負壓進氣孔，所述外部框架的內部設有與所述正壓進氣孔連通的正壓氣路、與所述負壓進氣孔連通的負壓氣路、以及與所述負壓氣路連通的負壓排氣腔，所述外部框架的下端設有與所述正壓氣路連通的正壓排氣孔集群；

所述外部框架的底部中間位置設有負壓腔體，所述負壓腔體的下端開口，所述負壓腔體的上端設有通槽，所述負壓調節板位于所述通槽處并與所述通槽之間密封，所述負壓腔體的邊緣還設有與所述負壓排氣腔連通的負壓排氣孔；

在所述氣浮模塊產生水平姿態誤差時，通過微調所述調平螺栓能夠調節所述負壓調節框架的水平姿態，進而調節與所述負壓調節框架貼合的所述負壓調節板的水平姿態，調節所述負壓調節板的水平姿態會改變負壓氣膜的分布情況并與正壓氣膜形成補充，進而調整氣膜厚度達到調節所述氣浮模塊水平姿態的目的。

2.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述通槽呈十字形，所述負壓調節板的形狀與所述通槽的形狀相吻合。

3.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述負壓調節板與所述通槽之間通過密封圈密封。

4.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，還包括調平連接件，所述調平連接件分別與所述外部框架及所述負壓調節框架連接。

5.根據權利要求4所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述調平連接件由片簧制成。

6.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述正壓排氣孔集群為疏松多孔結構。

7.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述負壓調節框架的上端設有承重板。

8.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述正壓進氣孔和所述負壓進氣孔均設于所述外部框架的側壁上。

9.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述外部框架為矩形，所述外部框架的四個角處分別設有一所述正壓排氣孔集群，所述外部框架的四個邊的中部分別設有一所述負壓排氣腔，各所述負壓排氣腔的正下方均設有若干個負壓排氣孔。

10.根據權利要求1所述的微動臺氣浮支撐裝置，其特征在于，所述外部框架均采用鋁合金材料制成。