[發明專利]異質光功率分配器/組合器

在審

• 申請號: 202111100779.0
• 申請日: 2021-09-18
• 公開（公告）號: CN114252954A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 卞宇生
• 申請（專利權）人: 格芯（美國）集成電路科技有限公司
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10;G02B6/12
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種光功率分配器/組合器的結構，該結構包括：

第一波導芯，包括第一端面以及向該第一端面錐形化的第一錐形段；

第二波導芯，位于鄰近該第一波導芯，該第二波導芯包括第二端面以及向該第二端面錐形化的第二錐形段；以及

第三波導芯，位于與該第一波導芯及該第二波導芯不同的層級中，該第三波導芯包括第三端面以及向該第三端面錐形化的第三錐形段，且該第三錐形段包括橫向位于該第一波導芯的該第一錐形段與該第二波導芯的該第二錐形段之間的第一部分。

2.如權利要求1所述的結構，其中，該第一錐形段及該第二錐形段分別沿第一方向縱向錐形化，且該第三錐形段沿與該第一方向相反的第二方向縱向錐形化。

3.如權利要求1所述的結構，其中，該第三波導芯位于該第一波導芯及該第二波導芯下方。

4.如權利要求3所述的結構，其中，該第三波導芯包括第一材料，且該第一波導芯及該第二波導芯包括具有與該第一材料不同組成的第二材料。

5.如權利要求1所述的結構，其中，該第三波導芯位于該第一波導芯及該第二波導芯之上。

6.如權利要求5所述的結構，其中，該第三波導芯包括第一材料，且該第一波導芯及該第二波導芯包括具有與該第一材料不同組成的第二材料。

7.如權利要求1所述的結構，還包括：

介電層，部分位于該第三波導芯與該第一波導芯之間且部分位于該第二波導芯與該第一波導芯之間。

8.如權利要求1所述的結構，其中，該第一錐形段包括終止于該第一端面的部分，該第二錐形段包括終止于該第二端面的部分，該第三錐形段的該第一部分終止于該第三端面，且該第三錐形段的該第一部分橫向位于該第一錐形段的該部分與該第二錐形段的該部分之間。

9.如權利要求8所述的結構，其中，該第一錐形段的該部分與該第二錐形段的該部分相對于該第三錐形段的該第一部分對稱布置。

10.如權利要求8所述的結構，其中，該第一錐形段的該部分與該第二錐形段的該部分相對于該第三錐形段的該第一部分不對稱布置。

11.如權利要求1所述的結構，還包括：

第四波導芯，包括第四端面以及向該第四端面錐形化的第四錐形段，該第四錐形段位于鄰近該第一錐形段。

12.如權利要求11所述的結構，還包括：

第五波導芯，包括第五端面以及向該第五端面錐形化的第五錐形段，該第五錐形段位于鄰近該第二錐形段，該第一錐形段及該第二錐形段橫向位于該第四錐形段與該第五錐形段之間。

13.如權利要求1所述的結構，其中，該第三波導芯包括第二部分，該第一部分縱向位于該第一端面與該第二部分之間，且還包括：

錐形介電層，僅位于該第三波導芯的該第二部分上方。

14.一種形成光功率分配器/組合器的結構的方法，該方法包括：

形成第一波導芯，該第一波導芯包括第一端面以及向該第一端面錐形化的第一錐形段；

形成第二波導芯，該第二波導芯位于鄰近該第一波導芯，且包括第二端面以及向該第二端面錐形化的第二錐形段；以及

形成第三波導芯，該第三波導芯位于與該第一波導芯及該第二波導芯不同的層級中，且包括第三端面以及向該第三端面錐形化的第三錐形段，其中，該第三錐形段包括橫向位于該第一波導芯的該第一錐形段與該第二波導芯的該第二錐形段之間的部分。

15.如權利要求14所述的方法，其中，該第一錐形段及該第二錐形段沿第一方向縱向錐形化，且該第三錐形段沿與該第一方向相反的第二方向縱向錐形化。