[發(fā)明專利]確定樣本壓射區(qū)域的集合的方法和信息處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111098337.7
• 申請(qǐng)日: 2021-09-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114253087A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江頭信一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種從基板的多個(gè)壓射區(qū)域中確定樣本壓射區(qū)域的集合的方法，在每個(gè)樣本壓射區(qū)域中標(biāo)記的位置要被實(shí)際地測(cè)量，該方法包括以下步驟：

設(shè)定樣本壓射區(qū)域的集合的初始布置；以及

向樣本壓射區(qū)域的集合添加在除了初始布置中的樣本壓射區(qū)域之外的壓射區(qū)域之中的如下壓射區(qū)域，在該壓射區(qū)域中指示出使用估計(jì)模型獲得的標(biāo)記的位置的測(cè)量值的估計(jì)值的不確定度的值超出預(yù)定閾值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，

估計(jì)模型接收輸入數(shù)據(jù)，該輸入數(shù)據(jù)包括在上層和下層之間的覆蓋測(cè)量值、器件制造工藝參數(shù)、在光刻步驟中使用的傳感器的參數(shù)和通過(guò)實(shí)際地測(cè)量樣本壓射區(qū)域中的標(biāo)記的位置而獲得的測(cè)量值，并且輸出在除了樣本壓射區(qū)域之外的壓射區(qū)域中的標(biāo)記的位置的測(cè)量值的估計(jì)值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，

估計(jì)模型是如下模型，在該模型中，在使用通過(guò)實(shí)際地測(cè)量樣本壓射區(qū)域中的標(biāo)記的位置而獲得的測(cè)量值作為教師數(shù)據(jù)時(shí)，輸入/輸出關(guān)系被學(xué)習(xí)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，

估計(jì)模型是根據(jù)教師數(shù)據(jù)來(lái)學(xué)習(xí)多項(xiàng)式的回歸系數(shù)的多項(xiàng)式回歸模型。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，

在添加步驟中，其中指示出不確定度的值超出閾值的壓射區(qū)域被提取，并且，在提取出的壓射區(qū)域之中的具有最大的指示出不確定度的值的壓射區(qū)域被添加到樣本壓射區(qū)域的集合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，還包括以下步驟：

在添加步驟中添加新的樣本壓射區(qū)域之后，計(jì)算回歸系數(shù)的概率分布的后驗(yàn)分布；以及

根據(jù)計(jì)算出的后驗(yàn)分布，計(jì)算指示出在每個(gè)壓射區(qū)域中的標(biāo)記的位置的測(cè)量值的估計(jì)值的不確定度的值，以及

重復(fù)地執(zhí)行添加步驟、計(jì)算后驗(yàn)分布的步驟以及計(jì)算值的步驟直到?jīng)]有如下的壓射區(qū)域?yàn)橹梗搲荷鋮^(qū)域的在計(jì)算值的步驟中計(jì)算出的、指示出不確定度的值超出閾值。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，

標(biāo)記的位置是在與基板的表面平行的方向上的標(biāo)記的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，

標(biāo)記的位置是在與基板的表面垂直的方向上的標(biāo)記的位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，

標(biāo)記的位置是在上層中的覆蓋標(biāo)記和在下層中的覆蓋標(biāo)記之間的相對(duì)位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

向用戶通知所確定的樣本壓射區(qū)域的集合的信息。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

計(jì)算估計(jì)誤差的平均值，所述估計(jì)誤差是估計(jì)值相對(duì)于通過(guò)實(shí)際測(cè)量獲得的測(cè)量值的誤差；以及

向用戶通知是否有其中計(jì)算出的平均值超出預(yù)定值的壓射區(qū)域。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

向用戶通知是否通過(guò)實(shí)際地測(cè)量在確定的樣本壓射區(qū)域中的標(biāo)記的位置而獲得的測(cè)量值落在基于指示出不確定度的值而設(shè)定的預(yù)定范圍外。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，

指示出估計(jì)值的不確定度的值包括估計(jì)值的方差。

14.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，還包括：

在顯示單元上顯示回歸系數(shù)的概率分布的信息。