[發(fā)明專利]高效超精密力流變拋光液

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111097293.6
• 申請日: 2021-09-18
• 公開（公告）號: CN113861847A
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發(fā)明（設計）人: 袁巨龍;呂冰海;王佳煥
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州智谷精工有限公司;浙江工業(yè)大學;新昌浙江工業(yè)大學科學技術研究院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 陳振華

1.高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述力流變拋光液的成分包括分散介質(zhì)、固相粒子、磨粒、吸附相、熱穩(wěn)定相和緩釋相，并在剪切力作用下具有非線性流變特性。

2.如權(quán)利要求1所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述力流變拋光液中，分散介質(zhì)和固相粒子組成基液；所述吸附相使拋光液中的磨粒被吸附到吸附相表面形成“磨粒球”；加工時，在剪切力作用下，工件與基液界面形成微米量級厚度的流變層，流變層中的固相粒子發(fā)生團聚_，并將磨粒球包裹后形成粒子團，通過粒子團與工件的相對運動去除工件表面粗糙峰，實現(xiàn)工件表面超精密拋光。

3.如權(quán)利要求1或2所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述分散介質(zhì)為水性分散介質(zhì)、油性分散介質(zhì)或有機分散介質(zhì)，所述固相粒子為氧化物顆粒和/或有機物顆粒。

4.如權(quán)利要求3所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述分散介質(zhì)為去離子水、乙二醇水溶液、丙三醇水溶液、煤油或聚乙二醇液，所述固相粒子為氧化硅顆粒、氧化鈣顆粒、聚甲基丙烯酸甲酯顆粒、多羥基聚合物顆粒中的一種或多種組合。

5.如權(quán)利要求1或2所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述吸附相為活性炭、硅膠、聚丙烯酰胺、聚氨酯、蛭石顆粒一種或多種組合。

6.如權(quán)利要求1或2所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述熱穩(wěn)定相可以在拋光時通過其分子的聚合吸收拋光過程產(chǎn)生的熱量，以維持拋光液溫度和黏度的穩(wěn)定。

7.如權(quán)利要求6所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述熱穩(wěn)定性相為親水性和溫敏性的共聚物或溫敏締合聚合物中的一種或多種組合。

8.如權(quán)利要求1或2所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述緩釋相采用高分子緩釋膜包裹化學試劑獲得，所述高分子緩釋膜具有確定的化學試劑釋放閾值M，當外界溶液中化學試劑的濃度低于M％時，高分子緩釋膜內(nèi)的化學試劑可以通過緩釋膜釋放到力流變拋光液中；當力流變拋光液中化學試劑的濃度高于M％時，化學試劑不能透過高分子緩釋膜。

9.如權(quán)利要求8所述的高效超精密力流變拋光液，其特征在于：所述化學試劑為氧化劑、緩蝕劑、催化劑、絡合劑中的一種或多種組合。