[發明專利]一種MEMS傳感器校準裝置

在審

• 申請號: 202111096021.4
• 申請日: 2021-09-18
• 公開（公告）號: CN113865635A
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 林啟者
• 申請（專利權）人: 溫州大學
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 杭州高盟專利代理事務所(普通合伙) 33402
• 代理人: 單燕君

1.一種MEMS傳感器校準裝置，其特征在于，包括校準室(1)，所述校準室(1)的內部底端固定連接有校準臺(2)，所述校準臺(2)的底端中部固定連接有壓力傳感器(3)，所述校準室(1)的內部上方一側設置有冷暖風機(4)，所述校準室(1)的內部頂端中部設置有測溫計(6)，所述測溫計(6)的兩側均設置有固定塊(7)，所述固定塊(7)的上端均固定連接于校準室(1)的內部頂端，所述測溫計(6)固定連接于兩個固定塊(7)之間，所述測溫計(6)遠離冷暖風機(4)的一側設置有開關機構(8)，所述開關機構(8)包括氣球(84)，所述氣球(84)的一側接觸有推桿(86)，所述推桿(86)的外部設置有C型板(85)，所述C型板(85)固定連接于校準室(1)的內部頂壁，所述推桿(86)遠離氣球(84)的一側上端固定連接有移動桿(81)，所述移動桿(81)滑動貫穿于C型板(85)上部，所述移動桿(81)位于C型板(85)外部的一端固定連接有按塊(89)，所述按塊(89)遠離移動桿(81)的一側設置有開關(87)，所述開關(87)與冷暖風機(4)電性連接，所述校準室(1)靠近冷暖風機(4)的一側外壁安裝有壓力數據顯示器(14)。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器校準裝置，其特征在于：所述冷暖風機(4)的一側設置有調節機構(5)，所述調節機構(5)包括固定桿(51)，所述固定桿(51)固定連接于校準室(1)的內壁，所述固定桿(51)的內部設置有絲桿(53)，所述絲桿(53)上螺紋連接有滑塊(52)，所述固定桿(51)相對冷暖風機(4)的一側為開口結構，所述滑塊(52)滑動連接于固定桿(51)的內部兩側之間，所述絲桿(53)的上端轉動連接于固定桿(51)的上端內壁，所述絲桿(53)的下端貫穿固定桿(51)且固定連接有第一握把(54)，所述滑塊(52)位于固定桿(51)外部的一端通過鉸接座轉動連接有第一連接桿(55)，所述第一連接桿(55)遠離滑塊(52)的一端與冷暖風機(4)轉動連接，所述冷暖風機(4)的上端通過鉸接座轉動連接有第二連接桿(56)，所述第二連接桿(56)的上端轉動連接于校準室(1)的內部頂壁，所述冷暖風機(4)的輸出端與校準臺(2)上端相對。

3.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器校準裝置，其特征在于：所述氣球(84)遠離推桿(86)的一端連接有連接管(82)，所述氣球(84)套接在連接管(82)上，所述連接管(82)遠離氣球(84)的一端插接有氣體瓶(83)，所述氣體瓶(83)與連接管(82)的插接處粘合有密封圈，所述連接管(82)上連接有支撐套塊(9)，所述支撐套塊(9)固定連接于校準室(1)的內壁頂端，所述連接管(82)插接在支撐套塊(9)中部，所述推桿(86)遠離氣球(84)的一側中部固定連接有彈簧(10)，所述彈簧(10)遠離推桿(86)的一端固定連接于C型板(85)內側，所述C型板(85)上下兩側均開設有滑槽(11)，所述推桿(86)兩端均滑動連接于滑槽(11)中，所述開關(87)遠離按塊(89)的一端固定連接有頂桿(88)，所述頂桿(88)上端固定連接于校準室(1)的內部頂壁。

4.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器校準裝置，其特征在于：所述校準臺(2)的上方兩側均設置有限位機構(12)，所述限位機構(12)均包括限位塊(121)，兩個所述限位塊(121)相互靠近的一側均粘合有橡膠墊(122)，兩個所述限位塊(121)相互遠離的一側均固定連接有套管(123)，所述套管(123)內部均螺紋連接有螺桿(124)，所述校準臺(2)的上端兩側中部均固定連接有側塊(126)，兩個所述螺桿(124)分別貫穿且轉動連接于兩個側塊(126)中部，兩個所述螺桿(124)相互遠離的一端均固定連接有第二握把(125)。

5.根據權利要求4所述的一種MEMS傳感器校準裝置，其特征在于：所述套管(123)的底端中部均固定連接有底桿(127)，所述校準臺(2)的上端兩側均開設有底槽(128)，所述底桿(127)的下部均滑動連接于底槽(128)內。