[發明專利]具有條形形狀的柵極電極和源極金屬化的碳化硅器件

在審

• 申請號: 202111093175.8
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN114256352A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: R·西門尼克;D·彼得斯
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L29/78
• 分類號: H01L29/78;H01L29/423;H01L29/417
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉書航;周學斌

1.一種碳化硅器件(500)，包括：

碳化硅本體(100)，其包括中心區(610)和圍繞中心區(610)的外周區(690)，其中中心區(610)包括第一導電類型的源極區(110)，并且其中外周區(690)包括第二導電類型的摻雜區(120)；

條形形狀的柵極電極(155)，其延伸通過中心區(610)并且進入到外周區(690)中；以及

在中心區(610)上和在外周區(690)的內部部分上的連續的源極金屬化(310)，其中源極金屬化(310)和源極區(110)在中心區(610)中形成第一歐姆接觸，并且其中源極金屬化(310)和摻雜區(120)在外周區(690)中形成第二歐姆接觸。

2.根據前項權利要求所述的碳化硅器件，

其中所述碳化硅器件(500)包括具有外部橫向邊緣的多個第一歐姆接觸，并且其中中心區(610)的第一橫向邊緣(611)是由連接被定向到中心區(610)的同一側的外部橫向邊緣的線限定的。

3.根據前述權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，進一步包括：

與柵極電極(155)接觸的柵極導體(332)，其中柵極導體(332)被形成在碳化硅本體(100)的第一主表面(101)上并且跨經柵極電極(155)的縱向中心。

4.根據前述權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，進一步包括：

與柵極電極(155)接觸的柵極連接板(331)，

其中柵極連接板(331)包括多晶硅，以及

其中柵極連接板(331)在柵極電極(155)的縱向中心和柵極電極(155)的第一端部之間跨經柵極電極(155)，其中第一歐姆接觸被形成在柵極連接板(331)的第一側上，并且其中第二歐姆接觸被形成在柵極連接板(331)的相對的第二側上。

5.根據前項權利要求所述的碳化硅器件，其中源極區(110)和源極金屬化(310)形成第一歐姆接觸在柵極連接板(331)的第二側上的部分。

6.根據前述兩項權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，

其中柵極連接板(331)包括在柵極電極(155)的縱向中心的相對側上的兩個分離的部分(331₁)。

7.根據前述三項權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，

其中柵極連接板(331)包括金屬硅化物封蓋 (333)。

8.根據前述四項權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，

其中源極金屬化(310)包括形成圍繞中心區(610)的框的外周接觸結構(318)。

9.根據權利要求1至3中的任何一項所述的碳化硅器件，

其中源極金屬化(310)包括平行于柵極電極(155)延伸的源極接觸結構(319)，并且其中源極接觸結構(319)形成第一歐姆接觸和第二歐姆接觸。

10.根據前述權利要求中的任何一項所述的碳化硅器件，進一步包括：

柵極焊盤(335)，其電連接到柵極電極(155)，其中在柵極焊盤(335)的四個橫向側上形成源極金屬化(310)的部分。