[發明專利]一種機械化學研磨保持環的表面處理方法有效
| 申請號： | 202111091085.5 | 申請日： | 2021-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN113732935B | 公開（公告）日： | 2022-10-25 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;馮周瑜;羅明浩 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 機械 化學 研磨 保持 表面 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種機械化學研磨保持環的表面處理方法，其特征在于，所述表面處理方法包括如下：
對保持環的金屬面依次進行第一研磨和第二研磨，對所述保持環的塑料面進行第三研磨；
所述第一研磨中對保持環施加有0.3-0.7MPa的壓力；所述第一研磨的轉速為30-60r/min，時間為20-40min；所述第一研磨后金屬面的平面度≤0.015mm；
所述第二研磨中對保持環施加有0.8-1.2MPa的壓力；所述第二研磨的轉速為30-60r/min，時間為20-40min；所述第二研磨后金屬面的粗糙度≤0.1μm；
所述第三研磨開始前對所述保持環的塑料面進行清洗；所述清洗包括對所述塑料面采用異丙醇進行超聲清洗；所述清洗的溫度為20-40℃，時間為3-8min；所述第三研磨的壓力為0.1-0.3MPa，轉速為50-70r/min，時間為60-110min；所述第三研磨后塑料面的粗糙度Ra≤0.1μm。
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