[發(fā)明專利]晶圓固定機(jī)構(gòu)、具有該機(jī)構(gòu)的晶圓翻轉(zhuǎn)裝置以及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111090802.2
• 申請(qǐng)日: 2021-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN113745141A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳功;鄭英杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海樂泓專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31385
• 代理人: 王瑞

1.一種晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

水平支撐機(jī)構(gòu)，所述水平支撐機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的支撐梳柱(610)，以配合支撐水平狀態(tài)的晶圓(1)，且兩所述支撐梳柱(610)之間形成供所述晶圓(1)進(jìn)出的通道；

周向夾持機(jī)構(gòu)，所述周向夾持機(jī)構(gòu)包括分設(shè)于所述通道兩端的至少兩個(gè)夾持梳柱(620)，至少兩個(gè)所述夾持梳柱(620)與所述支撐梳柱(610)相配合，以?shī)A持位于所述支撐梳柱(610)上的所述晶圓(1)，所述周向夾持機(jī)構(gòu)還包括緩沖組件，所述緩沖組件用于限制所述夾持梳柱(620)與所述晶圓(1)脫離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述周向夾持機(jī)構(gòu)包括分設(shè)于所述通道兩端的兩個(gè)夾持梳柱(620)，且兩個(gè)所述夾持梳柱(620)的中心位置與兩個(gè)所述支撐梳柱(610)的中心位置相適配。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述周向夾持機(jī)構(gòu)包括分設(shè)于所述通道兩端的至少三個(gè)夾持梳柱(620)，且至少三個(gè)所述夾持梳柱(620)所形成的封閉圖形的外接圓的圓心位置與兩個(gè)所述支撐梳柱(610)的中心位置相適配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述周向夾持機(jī)構(gòu)包括兩兩分設(shè)于所述通道兩端的四個(gè)夾持梳柱(620)，四個(gè)所述夾持梳柱(620)所形成的封閉圖形的外接圓的圓心位置與兩個(gè)所述支撐梳柱(610)的中心位置重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支撐梳柱(610)包括多個(gè)支撐板(613)，多個(gè)所述支撐板(613)沿垂直于水平面的方向依次間隔層疊設(shè)置，以水平支撐多片所述晶圓(1)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持梳柱(620)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述夾持板(621)遠(yuǎn)離并避讓進(jìn)出所述通道的晶圓(1)，或靠近并相互配合夾持位于所述支撐梳柱(610)上的晶圓(1)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述周向夾持機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)組件二，所述驅(qū)動(dòng)組件二用于驅(qū)動(dòng)位于所述通道同一端的兩個(gè)所述夾持梳柱(620)轉(zhuǎn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持梳柱(620)包括多片夾持板(621)，所述夾持板(621)與對(duì)應(yīng)所述支撐板(613)相配合，以接觸對(duì)應(yīng)所述支撐板(613)上的所述晶圓(1)邊緣。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支撐板(613)包括用于支撐所述晶圓(1)的支撐面，且所述支撐面向所述通道的底面傾斜。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支撐梳柱(610)還包括沿所述通道的高度方向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸(611)，多個(gè)所述支撐板(613)與所述轉(zhuǎn)軸(611)連接，以在所述轉(zhuǎn)軸(611)的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下靠近并支撐所述晶圓(1)，或遠(yuǎn)離并避讓所述晶圓(1)。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述緩沖組件設(shè)置于所述夾持梳柱(620)遠(yuǎn)離所述晶圓(1)的旋轉(zhuǎn)軌跡上，以用于限制所述夾持梳柱(620)與所述晶圓(1)脫離。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件二包括驅(qū)動(dòng)件、與所述驅(qū)動(dòng)件的執(zhí)行端連接的連桿(622)和兩個(gè)傳動(dòng)件(623)，所述連桿(622)的兩端分別設(shè)置有腰型孔(6221)，所述傳動(dòng)件(623)的一端與所述夾持梳柱(620)的一端固定，另一端伸入對(duì)應(yīng)所述腰型孔(6221)內(nèi)并能夠沿所述腰型孔(6221)滑動(dòng)，以帶動(dòng)對(duì)應(yīng)所述夾持梳柱(620)旋轉(zhuǎn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持板(621)的端頭設(shè)置有與所述晶圓(1)的厚度相配合的V型槽(6211)。