[發(fā)明專利]一種壓力傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111085998.6 | 申請日： | 2021-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN113790833A | 公開（公告）日： | 2021-12-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 謝英;孫成亮;劉炎 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢敏聲新技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16;G01L9/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430205 湖北省武漢市東湖新技術(shù)*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 壓力傳感器 | ||
1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括襯底層以及設(shè)置于所述襯底層上表面的壓電堆疊結(jié)構(gòu)，在所述襯底層上表面設(shè)置有凹槽，所述凹槽與所述壓電堆疊結(jié)構(gòu)之間形成密閉的第一腔體，在所述襯底層內(nèi)部還形成有密閉的第二腔體，所述第二腔體與所述第一腔體間隔且位于所述第一腔體下，其中，所述第一腔體的壓強(qiáng)大于所述第二腔體的壓強(qiáng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一腔體的壓強(qiáng)在0-1大氣壓之間，所述第二腔體的壓強(qiáng)為0大氣壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一腔體的底面與所述第二腔體的頂面相互平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一腔體與所述第二腔體之間通過薄膜間隔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述薄膜厚度在2-20um之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一腔體在所述襯底層底面上的投影中心與所述第二腔體在所述襯底層底面上的投影中心重合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述壓電堆疊結(jié)構(gòu)包括自下而上依次層疊設(shè)置的底電極、壓電層和頂電極，所述頂電極的外邊緣為曲線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述底電極的外邊緣為曲線。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力傳感器，其特征在于，所述底電極與所述頂電極的外邊緣形狀相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述頂電極和所述底電極均為薄膜電極。
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