[發明專利]一種YIG加載基片集成波導結構有效
| 申請號： | 202111077742.0 | 申請日： | 2021-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN113540731B | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發明（設計）人： | 樊鑫安;劉暢;王明;杜姍姍 | 申請（專利權）人： | 成都威頻科技有限公司 |
| 主分類號： | H01P3/12 | 分類號： | H01P3/12;H01P1/207 |
| 代理公司： | 成都誠中致達專利代理有限公司 51280 | 代理人： | 曹宇杰 |
| 地址： | 611730 四川省成都市高新區*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 yig 加載 集成 波導 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種YIG加載基片集成波導結構，其特征在于，包括：
釓鎵石榴石基片（1）；
形成于釓鎵石榴石基片（1）上下表面的釔鐵石榴石薄膜（2）；以及
形成于釔鐵石榴石薄膜（2）表面的金屬層（3）；
沿長度方向，金屬層（3）上兩側設有兩排金屬化過孔（4），兩個金屬層（3）的金屬化過孔（4）一一對應且貫穿連通，金屬化過孔（4）通過金屬填充；
金屬化過孔（4）與金屬層（3）用于形成基片集成波導的波導腔，中間的釔鐵石榴石薄膜（2）及釓鎵石榴石基片（1）用于形成波導腔中的介質。
2.根據權利要求1所述的YIG加載基片集成波導結構，其特征在于，釓鎵石榴石基片（1）、釔鐵石榴石薄膜（2）、金屬層（3）的寬度為
，
3.根據權利要求2所述的YIG加載基片集成波導結構，其特征在于，所述基片集成波導結構的工作頻率低于截止頻率，截止頻率為：
，
其中，表示波導中基模
4.根據權利要求1所述的YIG加載基片集成波導結構，其特征在于，釔鐵石榴石薄膜（2）用于施加靜態偏置磁場。
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