[發(fā)明專利]一種微顆粒片上偏振傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111069280.8
• 申請日: 2021-09-13
• 公開（公告）號: CN114002161A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙海盟;焦健楠
• 申請（專利權(quán)）人: 桂林航天工業(yè)學(xué)院
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01N21/01
• 代理公司: 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11200
• 代理人: 司立彬

1.一種微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，包括半波片、聚焦物鏡、雙光子聚合微結(jié)構(gòu)、成像物鏡、濾光片、偏振片、透鏡和成像設(shè)備；其中，

經(jīng)半波片調(diào)節(jié)的線偏振激勵光束入射到所述聚焦物鏡；所述聚焦物鏡用于將輸入的線偏振激勵光束匯聚到所述雙光子聚合微結(jié)構(gòu)；

所述半波片用于控制線偏振激勵光束的偏振狀態(tài)；

所述雙光子聚合微結(jié)構(gòu)用于基于入射光束激勵產(chǎn)生三次諧波作為樣品的光源，對樣品進行成像；

所述成像物鏡用于接收樣品的成像光束并進行樣品不同位置成像，輸入所述濾光片；

所述濾光片用于對輸入光束進行濾波，去除線偏振激勵光，并將得到的三次諧波經(jīng)所述偏振片輸入到所述透鏡；所述偏振片用于分析三次諧波的偏振態(tài)；

所述透鏡用于對輸入光束匯聚入射到所述成像設(shè)備進行成像。

2.如權(quán)利要求1所述的微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，通過無掩模飛秒激光直寫將所述雙光子聚合微結(jié)構(gòu)集成到光流控芯片中。

3.如權(quán)利要求1所述的微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，所述濾光片為750nm短通濾光片。

4.如權(quán)利要求1或2或3所述的微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，所述聚焦物鏡的數(shù)值孔徑為0.65。

5.如權(quán)利要求1或2或3所述的微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，所述成像物鏡為數(shù)值孔徑為0.45的20倍成像物鏡。

6.如權(quán)利要求1或2或3所述的微顆粒片上偏振傳感器，其特征在于，所述成像設(shè)備為CMOS相機或成像光譜儀。