[發(fā)明專利]一種高離子電導率氧化物固態(tài)電解質薄膜的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111063606.6 | 申請日： | 2021-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN113809391B | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 彭爭春;譚飛虎 | 申請（專利權）人： | 深圳大學 |
| 主分類號： | H01M10/0562 | 分類號： | H01M10/0562;H01M10/052;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 劉芙蓉 |
| 地址： | 518060 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 電導率 氧化物 固態(tài) 電解質 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種高離子電導率氧化物固態(tài)電解質薄膜的制備方法，其特征在于，包括步驟：
提供LixLayTiO3陶瓷靶材，其中x＝0.33，y＝0.55；
通過磁控濺射方式將所述LixLayTiO3陶瓷靶材制成第一LixLayTiO3固態(tài)電解質薄膜；其中所述磁控濺射的工藝條件：本底真空度為3.0·10-4Pa，濺射時間為510min，濺射功率為100W，流量為15sccm，濺射氣壓為0.7Pa，濺射氣氛為Ar和O2組成的混合氣體，所述Ar與O2體積比為8:2，襯底溫度為120℃，LixLayTiO3陶瓷靶材自轉速度為10°/s，LixLayTiO3陶瓷靶材公轉幅度為30°，LixLayTiO3陶瓷靶材公轉速度為2°/s；
將所述第一LixLayTiO3固態(tài)電解質薄膜進行快速退火處理，得到LixLayTiO3固態(tài)電解質薄膜；
所述快速退火處理的工藝條件為：以20℃/s升溫速率升溫至280℃后，保溫10min，然后冷卻至室溫；
所述LixLayTiO3固態(tài)電解質薄膜的厚度為1142nm；
Li0.33La0.55TiO3陶瓷靶材通過以下方法制備得到：
選擇分析純的La2O3、分析純的Li2CO3、分析純的TiO2為原料，按照Li+、La3+、Ti4+的摩爾比為0.33:0.55:1進行配料，利用直徑5-15mm的瑪瑙球作為研磨介質，將配好的混合原料置于行星球磨機中，在球磨介質作用下球磨8小時，得到粉體；
將所得到的粉體置入金屬模具中，采用70kPa的壓力壓制成型，得到圓柱形坯體；
將圓柱形坯體加熱至500℃后保溫3h，然后繼續(xù)加熱至1000℃后保溫3h，使得圓柱形坯體燒結成陶瓷，形成初步的陶瓷靶材；
通過機加工將初步的陶瓷靶材打磨成直徑為76.2mm、厚度為3cm的尺寸，并進行表面拋光處理，得到所述Li0.33La0.55TiO3陶瓷靶材。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳大學，未經深圳大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111063606.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
