[發明專利]微型光波導的微壓力傳感器及系統

在審

• 申請號: 202111061806.8
• 申請日: 2021-09-10
• 公開（公告）號: CN113776705A
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 武貴敏
• 申請（專利權）人: 武貴敏
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24;G01L11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器包括：第一光波導管、第二光波導管、受壓層、透明彈性層和橢球透明部；所述第一光波導管的一端設置有所述透明彈性層，所述透明彈性層遠離所述第一光波導管的一側設置有所述第二光波導管，所述透明彈性層的內部設置有所述橢球透明部，且所述橢球透明部的長軸與所述第一光波導管的光軸方向成一定角度，所述透明彈性層的外部包裹設置有所述受壓部，其中，所述透明彈性層在壓力的作用下發生形變。

2.根據權利要求1所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述橢球透明部的材料為聚酯材料。

3.根據權利要求2所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述透明彈性層的材料為酚醛樹脂、環氧樹脂和聚亞胺酯橡膠中至少一種。

4.根據權利要求3所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述橢球透明部的表面設置光柵結構，所述光柵結構為多個相互平行的凹槽。

5.根據權利要求4所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述橢球透明部表面鑲嵌設置有貴金屬納米顆粒。

6.根據權利要求5所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述橢球透明部內部摻雜設置有光敏性材料。

7.根據權利要求6所述的微型光波導的微壓力傳感器，其特征在于，所述光敏性材料為鍺或者硼。

8.一種微型光波導的微壓力傳感系統，其特征在于，所述系統包括：光源、光譜儀、計算機和權利要求1-7任意一項所述的微型光波導的微壓力傳感器，所述光源和所述光譜儀分別設置在所述傳感器的第一光波導管和第二光波導管的兩側，所述光譜儀用于獲取所述傳感器的輸出光的光譜，所述計算機與所述光譜儀通信連接，所述計算機用于根據所述光譜儀獲取的輸出光的光譜與待測壓力的對應關系，得到所述待測壓力。