[發明專利]連續多通道檢測MO源濃度的裝置

在審

• 申請號: 202111057147.0
• 申請日: 2021-09-09
• 公開（公告）號: CN113834907A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 鄭銳;彭真;王宏波;俞冬雷
• 申請（專利權）人: 安徽亞格盛電子新材料有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01G19/52;G01N35/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 楊靜

本發明的目的是提供一種連續多通道檢測MO源濃度的裝置，包括有至少四個源瓶，所有的源瓶共同通過進管路一連接有氮氣緩沖罐；所有的源瓶通過測試閥共同連接有測試管路，測試管路末端連接有濃度測試儀，濃度測試儀連接有末端管路；所有的源瓶通過排出閥共同連接有旁通管路，旁通管路連接著緩沖罐；末端管路上連接有第一吸收罐和第二吸收罐，緩沖罐也連接在末端管路上；所有的源瓶與氮氣緩沖罐之間還通過進管路二進行連接，進管路二連接有并聯的流量計一和壓力控制器。通過增加旁通管路與測試管路分開以達到連續測試的目的。

技術領域

本發明涉及MO源領域，尤其涉及一種連續多通道檢測MO源濃度的裝置。

背景技術

MO源 （metalorganic source）種類繁多，在研究和生產中使用過的MO源超過70多種， MO源概念已超出金屬有機化合物的范圍，現在MO源的含義應是：凡在MOCVD外延技術中作為基本材料使用的金屬或元素有機化合物統稱為MO源，因此MO源在外國文獻中常籠統地稱為“MOCVD的前體物（Precursor）”。

現有技術專利 CN103924214A公開了一種蒸汽輸送MO源連續供應系統，通過設置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都設置有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可， 不需要精確控溫；當MO源鋼瓶液位高時， 便直接從MO源鋼瓶內輸出MO源；當MO源鋼瓶處于低液位時，便采用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源， 再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續使用。但是目前，MO源應用在客戶端MOCVD機臺上使用時，濃度的準確且穩定輸出是一個基礎需求，所以MO源的生產在優化工藝和質量過程中需要對源的濃度穩定輸出情況進行檢測，且MO源使用周期甚至長達數月，中間存在老化，固態源自重壓縮，板結等情況，造成輸出濃度不穩定，無法滿足客戶需求。因此需要提供一種多通道連續檢測MO源濃度的裝置。

發明內容

為解決上述問題，本發明提供一種連續多通道檢測MO源濃度的裝置，通過增加旁通管路與測試管路分開以達到連續測試的目的，解決了背景技術中出現的問題。

本發明的目的是提供一種連續多通道檢測MO源濃度的裝置，包括有至少四個源瓶，所有的源瓶共同通過進管路一連接有氮氣緩沖罐；

所有的源瓶通過測試閥共同連接有測試管路，測試管路末端連接有濃度測試儀，濃度測試儀連接有末端管路；

所有的源瓶通過排出閥共同連接有旁通管路，旁通管路連接著緩沖罐；

末端管路上連接有第一吸收罐和第二吸收罐，緩沖罐也連接在末端管路上；

所有的源瓶與氮氣緩沖罐之間還通過進管路二進行連接，進管路二連接有并聯的流量計一和壓力控制器。

進一步改進在于：所述氮氣緩沖罐的進氣端連接有氣體純化器。

進一步改進在于：所述第一吸收罐底部設置有電子秤。

進一步改進在于：所述流量計一和壓力控制器的末端通過壓差計與測試管路相連。

進一步改進在于：所述流量計一和壓力控制器的末端通過閥門一以及氮氣緩沖罐通過閥門二共同連接有真空泵一；所述末端管路的末端連接有真空泵二。

進一步改進在于：所述每個源瓶均連接有流量計二，流量計二連接著并聯的末端管路和旁通管路。

進一步改進在于：所述源瓶連接著進管路一一端設置有閥門三；所述源瓶連接著進管路二一端設置有閥門四。

進一步改進在于：所述緩沖罐連接有真空壓力表。