[發(fā)明專利]一種CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111056545.0
• 申請(qǐng)日: 2021-09-09
• 公開（公告）號(hào): CN114152629A
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 符永勝;舒恒;范恩;徐金宏;劉超文;胡牛凡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽廣晟德自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 南京禾易知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32320
• 代理人: 張松云

1.一種CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，包括光學(xué)檢測(cè)機(jī)箱體(1)，于所述光學(xué)檢測(cè)機(jī)箱體(1)兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)料托盤(2)以及出料托盤(3)，光學(xué)檢測(cè)返修臺(tái)(4)設(shè)置于光學(xué)檢測(cè)機(jī)箱內(nèi)且所述進(jìn)料托盤(2)以及出料托盤(3)與所述光學(xué)檢測(cè)返修臺(tái)(4)兩端接合，控制面板(7)設(shè)置于光學(xué)檢測(cè)機(jī)箱體(1)上進(jìn)行調(diào)控，控制面板(7)內(nèi)包括有控制中心；

所述光學(xué)檢測(cè)返修臺(tái)(4)包括依次排布的進(jìn)料測(cè)試模塊(42)、顯微返修模塊(43)、升降托料模塊(44)以及拉料收料模塊(45)，進(jìn)料測(cè)試模塊(42)與進(jìn)料托盤(2)相對(duì)應(yīng)，拉料收料模塊(45)與出料托盤(3)對(duì)應(yīng)，所述進(jìn)料測(cè)試模塊(42)、顯微返修模塊(43)、升降托料模塊(44)以及拉料收料模塊(45)均由所述控制中心控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述顯微返修模塊(43)包括定位裝置以及設(shè)置于定位裝置上的操作平臺(tái)(437)和顯微裝置，所述定位裝置包括X軸移動(dòng)模塊(431)以及Y軸移動(dòng)模塊(432)，Y軸移動(dòng)模塊(432)基于X軸移動(dòng)模塊(431)設(shè)置且于Y軸移動(dòng)模塊(432)上設(shè)置有顯微裝置，所述操作平臺(tái)(437)設(shè)置于X軸移動(dòng)模塊(431)上，顯微裝置位于操作平臺(tái)(437)上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述顯微裝置包括顯微鏡模塊(435)以及晶圓片(436)，所述顯微鏡模塊(435)以及晶圓片(436)均固定于支架上且所述晶圓片(436)設(shè)置于顯微鏡模塊(435)正下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，于所述操作平臺(tái)(437)上還設(shè)置有熱熔機(jī)構(gòu)(439)、上下壓合機(jī)構(gòu)(438)以及吹風(fēng)風(fēng)扇(433)，所述熱熔機(jī)構(gòu)(439)與上下壓合機(jī)構(gòu)(438)配合完成產(chǎn)品的返修，吹風(fēng)風(fēng)扇(433)用于保持操作平臺(tái)(437)整潔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，于所述Y軸移動(dòng)模塊(432)上還設(shè)置有控制手柄(434)，控制手柄(434)包括按鈕座(4341)、不自鎖按鈕(4342)以及二檔開關(guān)(4343)，所述不自鎖按鈕(4342)設(shè)置于按鈕座(4341)頂部，二檔開關(guān)(4343)設(shè)置于按鈕座(4341)側(cè)面，用于控制所述定位裝置的X軸和Y軸運(yùn)動(dòng)以及鎖緊和上下壓合機(jī)構(gòu)(438)的封合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述進(jìn)料測(cè)試模塊(42)包括限位機(jī)構(gòu)以及檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)與進(jìn)料托盤(2)接合，檢測(cè)機(jī)構(gòu)則相鄰于限位機(jī)構(gòu)設(shè)置，用于完成對(duì)產(chǎn)品的定位以及檢測(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括相鄰于限位機(jī)構(gòu)設(shè)置的升降氣缸(424)以及固定于限位機(jī)構(gòu)和升降氣缸(424)之間的第一相機(jī)模塊(423)，于升降氣缸(424)上固定有若干用于檢測(cè)的探針(425)，升降氣缸(424)固定于檢測(cè)安裝架上，第一相機(jī)模塊(423)與探針(425)配合完成對(duì)產(chǎn)品的外觀以及功能的檢測(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述限位機(jī)構(gòu)包括壓緊從動(dòng)機(jī)構(gòu)(421)以及固定壓緊氣缸(422)，所述壓緊從動(dòng)機(jī)構(gòu)(421)設(shè)置于進(jìn)料托盤(2)與光學(xué)檢測(cè)返修臺(tái)(4)接合處，固定壓緊氣缸(422)則距離壓緊從動(dòng)機(jī)構(gòu)(421)一定距離設(shè)置且位于限位機(jī)構(gòu)和壓緊從動(dòng)機(jī)構(gòu)(421)之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CSP在線光學(xué)檢測(cè)機(jī)，其特征在于，所述拉料收料模塊(45)包括拉料平臺(tái)，所述拉料平臺(tái)與出料托盤(3)相接合，于所述拉料平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置有用于壓合產(chǎn)品的限位機(jī)構(gòu)，基于所述拉料平臺(tái)設(shè)置有拉料機(jī)構(gòu)，用于將產(chǎn)品運(yùn)送至出料托盤(3)；所述拉料機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置于拉料平臺(tái)兩側(cè)的夾具(451)以及設(shè)置于拉料平臺(tái)底側(cè)的氣缸，夾具(451)與氣缸配合完成對(duì)產(chǎn)品的帶出。