[發明專利]化學制劑過濾器更換裝置

有效

• 申請號: 202111054022.2
• 申請日: 2021-09-09
• 公開（公告）號: CN114377466B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 宋勇益;李晉宇;蔡熙峯;崔樂坤;林佑澤;鄭恩珍;申東赫;李相喆;金萬鎬;樸正訓
• 申請（專利權）人: 系統科技公司
• 主分類號: B01D35/30
• 分類號: B01D35/30
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 姜長星;李盛泉

本發明的目的在于提供一種化學制劑過濾器更換裝置，在結合過濾器外殼和過濾器頭的情況下使過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的面處于水平狀態。為了實現該目的的化學制劑過濾器更換裝置，包括：過濾器組件固定部，固定過濾器組件，過濾器組件由過濾器外殼和過濾器頭構成，過濾器外殼內部容納用于過濾化學制劑的濾芯，過濾器頭結合于過濾器外殼的開放的一側；過濾器外殼拆裝模塊，移動過濾器外殼，以從過濾器組件拆卸過濾器外殼或者將拆卸的過濾器外殼結合于過濾器組件；其中，在過濾器外殼拆裝模塊具有至少一個彈性部件，彈性部件在移動過濾器外殼來緊貼于過濾器頭的情況下使彈力作用于過濾器外殼和過濾器頭的緊貼面。

技術領域

本發明涉及用于拆卸及結合用于過濾化學制劑的化學制劑過濾器組件的過濾器外殼和濾芯的化學制劑過濾器更換裝置。

背景技術

通常，制造半導體、半導體裝置、LCD、OLED的公司、制藥公司及油漆公司等，使用有害化學物質的所有公司正在使用各種種類的化學制劑，而且安全供應這種化學制劑的方式也正在變得多種多樣。

這種化學制劑會經過化學制劑過濾器進行供應，以根據制造工藝的特性以雜質最少化的高純度狀態使用。

所述化學制劑過濾器根據種類其形狀及更換方法也有所不同，而且根據化學制劑的種類及所需的高純度狀態保持標準有各種更換周期。

在更換化學制劑過濾器時，將過濾器組件的過濾器外殼和過濾器頭分開更換濾芯之后將過濾器外殼重新結合于過濾器頭，在此利用夾緊裝置夾緊所述過濾器外殼和所述過濾器頭的結合部，進而堅固地結合過濾器外殼和過濾器頭，以防止過濾器組件內部的化學制劑及煙霧(FUME)泄漏。

在將所述過濾器外殼結合于過濾器頭的情況下，可在過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的面傾斜的狀態下結合。如此，相互面對的面傾斜的理由可能有很多，諸如過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的部分的平整度差、在組裝升降驅動部時出現的公差、在過濾器外殼結合于升降驅動部的部分出現的公差、過濾器頭的組裝公差等。

如上所述，若過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的面在傾斜的狀態下結合，則因為過濾器外殼和過濾器頭之間的微小的間隙未能保持氣密，因此存在化學制劑及煙霧泄漏的問題。

作為用于在過濾器組件更換濾芯的以往的技術，公開了韓國授權專利第10-1921600號。

發明內容

技術問題

本發明是為了解決上述整體問題而提出的，目的在于提供一種化學制劑過濾器更換裝置，在結合過濾器外殼和過濾器頭的情況下使過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的面處于水平狀態。

技術方案

用于達到上述目的的本發明的化學制劑過濾器更換裝置包括：過濾器組件固定部，固定過濾器組件，所述過濾器組件由過濾器外殼和過濾器頭構成，所述過濾器外殼內部容納用于過濾化學制劑的濾芯，所述過濾器頭結合于所述過濾器外殼的開放的一側；過濾器外殼拆裝模塊，移動所述過濾器外殼，以從所述過濾器組件拆卸所述過濾器外殼或者將所述拆卸的過濾器外殼結合于所述過濾器組件；其中，在所述過濾器外殼拆裝模塊具有至少一個彈性部件，所述彈性部件在移動所述過濾器外殼來緊貼于所述過濾器頭的情況下使彈力作用于所述過濾器外殼和過濾器頭的緊貼面。

技術效果

通過本發明，在結合過濾器外殼和過濾器頭的情況下，使過濾器外殼和過濾器頭的相互面對的面處于水平狀態，進而保持過濾器外殼和過濾器頭之間的氣密，可防止化學制劑及煙霧泄漏。

附圖說明

圖1是示出在本發明的化學制劑過濾器更換裝置中從過濾器頭拆卸過濾器外殼的狀態的立體圖；

圖2是示出在圖1的狀態下過濾器外殼下降的狀態的立體圖；

圖3是示出在本發明的過濾器組件固定部中夾緊過濾器外殼和過濾器頭的狀態的剖面圖；