[發明專利]晶圓藍膜的張緊和調節裝置

在審

• 申請號: 202111051603.0
• 申請日: 2021-09-08
• 公開（公告）號: CN113658900A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 盧國強
• 申請（專利權）人: 深圳市優界科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市查策知識產權代理事務所(普通合伙) 44527
• 代理人: 曾令安

1.晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，所述晶圓藍膜的張緊和調節裝置包括：

基座，所述基座上間隔設置有支架，支架遠離基座的一端固定連接有支撐板；基座用于安裝驅動機構，支撐板用于安裝輸送機構以及張緊機構；以及

輸送機構，所述輸送機構固定連接在支撐板遠離基座的一端；用于輸送晶圓藍膜；

驅動機構，所述驅動機構固定連接在基座遠離支架的一端，且與輸送機構傳動連接；用于為張緊機構以及輸送機構提供轉動動力；

張緊機構，所述張緊機構固定連接在基座遠離驅動機構的一端，且與驅動機構固定連接，并與支撐板滑動連接；用于在輸送機構輸送晶圓藍膜的過程中，對晶圓藍膜進行張緊；

調節機構，所述調節機構轉動連接在驅動機構的內部；用于帶動驅動機構位移調節，進而實現驅動機構正反方向轉動。

2.根據權利要求1所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，所述輸送機構包括：

輸送支架，所述輸送支架間隔設置在支撐板遠離基座的一端，且輸送支架遠離支撐板的一端轉動連接有輥筒，遠離輥筒一側的輸送支架轉動連接有安裝軸；以及

藍膜卷筒，所述藍膜卷筒可拆卸連接在安裝軸的外側面。

3.根據權利要求1所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，所述驅動機構包括：

驅動箱體，所述驅動箱體固定連接在基座遠離支架的一端；以及

從動軸，所述從動軸轉動連接在驅動箱體的內部，且貫穿基座并與基座轉動連接；

主動軸，所述主動軸轉動連接在驅動箱體的側面內，且主動軸設置在驅動箱體內部的一端固定連接有主動件；

移動套筒，所述移動套筒滑動連接在從動軸的外側面，且移動套筒的兩端均固定連接有從動件，從動件與主動件間歇嚙合；

驅動軸，所述驅動軸轉動連接在基座以及支撐板的內部，且驅動軸靠近主動軸的一端通過第一傳動件與主動軸傳動連接，驅動軸遠離第一傳動件的一端通過第二傳動件與輸送機構傳動連接。

4.根據權利要求3所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，從動軸的外側面固定連接有肋板，所述肋板用于帶動從動軸轉動。

5.根據權利要求3所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，移動套筒的內部設置有從動軸槽，所述從動軸槽用于安裝從動軸，從動軸槽的內部設置有肋板槽，肋板槽用于安裝肋板。

6.根據權利要求3所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，所述張緊機構包括：

螺桿，所述螺桿固定連接在從動軸設置在基座外部的一端；以及

限位桿，所述限位桿固定連接在基座靠近螺桿的一側；

移動塊，所述移動塊與螺桿螺紋連接，并與限位桿滑動連接，移動塊遠離基座的一端固定連接有張緊支架，張緊支架與支撐板滑動連接，且張緊支架設置在支撐板外部的一端間隔設置有張緊輥筒。

7.根據權利要求3所述的晶圓藍膜的張緊和調節裝置，其特征在于，所述調節機構包括：

轉軸，所述轉軸轉動連接在驅動箱體遠離主動軸的一側，轉軸設置在驅動箱體外部的一端固定連接有驅動件，轉軸相對于驅動件的另一端固定連接有轉盤；以及

轉動環，所述轉動環轉動連接在移動套筒的外側面，轉動環靠近轉盤的一端固定連接有連接件；

固定軸，所述固定軸分別固定連接在連接件靠近轉軸的一側以及轉盤靠近移動套筒的一側，且固定軸之間鉸接有連接桿。