[發明專利]基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器

有效

• 申請號: 202111040514.6
• 申請日: 2021-09-06
• 公開（公告）號: CN113865755B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 方續東;高博楠;方子艷;吳俊俠;鄧武彬;趙立波;田邊;王淞立;朱楠;孫昊;吳晨;蔣莊德
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 安彥彥

1.基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，包括諧振器層(1)和壓力敏感膜層(2)；所述諧振器層(1)包括兩個可動錨點(5)，所述敏感膜層(2)包括壓力敏感膜(3)和與壓力敏感膜(3)連接的兩個對稱設置的硅島(4)，所述兩個硅島(4)分別與兩個可動錨點(5)連接；

所述可動錨點(5)與第一諧振梁(61)和第二諧振梁(62)一端連接，所述第一諧振梁(61)另一端與第一質量塊(71)連接，第一質量塊(71)上布置有第一可動電極，第一可動電極外側布置有第一固定電極(81)；第二諧振梁(62)另一端與第二質量塊(72)連接；第二質量塊(72)上布置有第二可動電極，第二可動電極外側布置有第二固定電極(82)；

所述第一質量塊(71)和第二質量塊(72)分別連接在拾振梁(12)的兩側，所述拾振梁(12)的另外兩側分別連接有兩根耦合梁(11)；兩根耦合梁(11)分別通過第一蛇形梁(10)與兩個可動錨點(5)連接；所述拾振梁(12)上布置有壓敏電阻。

2.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述可動錨點(5)為T形，包括連接部和設置在連接部兩側的第一外延懸置部和第二外延懸置部，所述連接部與硅島(4)連接。

3.根據權利要求2所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述兩個第一諧振梁(61)分別延伸連接至兩個可動錨點(5)的第一外延懸置部，兩個第二諧振梁(62)分別延伸連接至兩個可動錨點(5)的第二外延懸置部。

4.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述可動錨點(5)外側通過第二蛇形梁(9)與諧振器層(1)的固定端連接。

5.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述硅島(4)位于壓力敏感膜(3)沿第一諧振梁長度方向上的最大變形區。

6.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述兩個耦合梁(11)對稱布置。

7.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述第一質量塊(71)與第一可動電極為一體結構，所述第二質量塊(72)與第二可動電極為一體結構。

8.根據權利要求1所述的基于靜電激勵壓阻檢測的硅微諧振壓力傳感器，其特征在于，所述第一可動電極、第二可動電極、第一固定電極(81)和第二固定電極(82)均為梳齒電極。