[發(fā)明專利]一種鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑、制備方法及專用系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111036862.6 | 申請日： | 2021-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN113663679B | 公開（公告）日： | 2023-10-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳敏;亓?xí)?/a> | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號： | B01J23/83 | 分類號： | B01J23/83;C02F1/30;C02F101/30 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211102 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鈣鈦礦型 復(fù)合 光催化劑 制備 方法 專用 系統(tǒng) | ||
本文公開了一種鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑及其制備方法與專用系統(tǒng)和方法，所述鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑為LaNixCo1?xO3/CeO2，x為0.9?0.98。在不同摩爾比陰陽離子表面活性劑混合條件下，在LaNiO3中摻雜Co改性得到LaNixCo1?xO3，然后超聲輔助下將LaNixCo1?xO3與CeO2復(fù)合，有效促進(jìn)電荷載流子分離，增大比表面積，獲得綠色環(huán)保、光催化能力強(qiáng)、吸附性能強(qiáng)的鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑。采用專用設(shè)備全封閉廢水尾氣一體化處理系統(tǒng)，利用鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑LaNixCo1?xO3/CeO2高效處理半導(dǎo)體有機(jī)廢水，本系統(tǒng)自動化、智能化，傳質(zhì)效率高，充分利用可見光，環(huán)保無二次污染。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種催化劑、制備方法及專用系統(tǒng)和方法，尤其涉及一種吸附性能好、光催化能力強(qiáng)、應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢水降解的鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑及其制備方法與處理廢水時的專用配套處理系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)
由于現(xiàn)代社會及信息技術(shù)等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，大數(shù)據(jù)計算、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興需求的不斷增加，促進(jìn)了半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展不僅帶來了巨大的經(jīng)濟(jì)收益和科技發(fā)展，也帶來了環(huán)境污染的問題。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，由于不同工藝的生產(chǎn)需求產(chǎn)生了大量有機(jī)廢水，整個過程中，有機(jī)廢水約占廢水總量的1/3以上，主要污染物有：成盒工序中的N-甲基吡咯烷酮(NMP)；陣列過程光刻工序中的丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)；陣列過程剝離工序中的二甲基亞砜(DMSO)、乙醇胺(ETA)；顯影工藝過程中的四甲基氫氧化銨(TMAH)；以及光刻膠會分解產(chǎn)生的苯酚等有機(jī)物。這些有機(jī)污染物由于易溶于水且具有一定毒性，處理不好排入環(huán)境會造成水質(zhì)污染，對于水生生物以及人類的身體健康都具有很大的危害。
當(dāng)前用于半導(dǎo)體有機(jī)廢水處理的方法主要是生物分解法，此法雖然成本低能有效去除低COD廢水的污染物，但無法處理高COD的有機(jī)廢水；芬頓氧化法能一定程度上氧化降解有機(jī)物，但處理后會產(chǎn)生大量污泥固廢造成二次污染；吹脫、膜分離等物理法起到廢水處理的輔助作用，無法降解水中有機(jī)污染物。光催化氧化技術(shù)因其光降解環(huán)保能耗低，且能有效降解污染物而被廣泛關(guān)注。然而應(yīng)用廣泛的TiO2等光催化劑由于其帶隙寬度大，僅對紫外及近紫外光具有光譜響應(yīng)，無法吸收利用可見光，大大降低了光的利用效率；其次單純的光催化劑產(chǎn)生的光生電荷載流子利用率低，光生電子-空穴對極易復(fù)合使得光催化效率低。因此半導(dǎo)體有機(jī)廢水的處理需要一個環(huán)保且能高效處理有機(jī)污染物的方法。
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的：本發(fā)明的第一目的是提供一種綠色環(huán)保、光催化能力強(qiáng)、吸附性能強(qiáng)的鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑LaNixCo1-xO3/CeO2；本發(fā)明第二目的是提供一種該鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑的制備方法；本發(fā)明第三目的是提供一種該鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑處理半導(dǎo)體有機(jī)廢水中的應(yīng)用；本發(fā)明的第四目的是提供一種該鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑處理半導(dǎo)體有機(jī)廢水的專用系統(tǒng)；本發(fā)明的第五目的是提供一種該鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑利用專用系統(tǒng)處理半導(dǎo)體有機(jī)廢水的方法。
技術(shù)方案：本發(fā)明所述一種鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑，所述鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑為LaNixCo1-xO3/CeO2，其中，x為0.9-0.98，活性物質(zhì)LaNixCo1-xO3是在LaNiO3中摻雜Co改性制得。
本發(fā)明所述鈣鈦礦型復(fù)合光催化劑的制備方法包括以下步驟：
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