[發明專利]一種超低溫激光器芯片老化檢測裝置

在審

• 申請號: 202111035610.1
• 申請日: 2021-09-06
• 公開（公告）號: CN113466672A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 邱德明;張方正
• 申請（專利權）人: 武漢盛為芯科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 姜展志

1.一種超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，包括罐體（1）、蓋子（2）、第一伸縮件（3）和測試臺（4），所述罐體（1）上端敞口，所述蓋子（2）可拆卸的密封安裝在所述罐體（1）上端的敞口處，所述罐體（1）內部設有一個隔板（5），所述隔板（5）將所述罐體（1）分割成上腔室（11）和下腔室（12），所述隔板（5）的中部設有開口（51），所述隔板（5）的下端轉動安裝有一個門板（52），且所述門板（52）處設有驅動件，所述驅動件用以驅動所述門板（52）向下轉動至將所述開口（51）打開，或向上轉動至將所述開口（51）關閉，所述第一伸縮件（3）安裝在所述蓋子（2）的中部，且其伸縮端朝下，所述測試臺（4）安裝在所述第一伸縮件（3）的伸縮端，所述下腔室（12）內用以裝納液態氣體，所述第一伸縮件（3）伸長以驅動所述測試臺（4）經所述開口（51）進入到所述下腔室（12）內，或收縮以驅動所述測試臺（4）經所述開口（51）回位到所述上腔室（11）內，所述測試臺（4）的導線經密封貫穿至所述蓋子（2）外，所述測試臺（4）用以安裝超低溫激光器芯片。

2.根據權利要求1所述的超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，還包括泄壓閥（6），所述泄壓閥（6）設置在所述上腔室（11）的外側壁上或設置在所述蓋子（2）的上端。

3.根據權利要求1所述的超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，所述罐體（1）的側壁上設有與所述下腔室（12）內連通的進氣口（13），且在所述進氣口（13）處設有閥門（14）。

4.根據權利要求1所述的超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，所述驅動件包括扭簧（71）和第二伸縮件（72），所述扭簧（71）安裝在所述門板（52）與所述隔板（5）轉動連接處，所述扭簧（71）的彈性作用力驅動所述門板（52）趨于向上轉動至將所述開口（51）關閉，所述第二伸縮件（72）安裝在所述隔板（5）的上端，并靠近所述門板（52）與所述隔板（5）的轉動連接處，且所述第二伸縮件（72）的伸縮端朝下并貫穿所述隔板（5），所述第二伸縮件（72）伸長以驅動所述門板（52）克服所述扭簧（71）的彈性作用力向下轉動至將所述開口（51）打開，或所述第二伸縮件（72）收縮，且所述門板（52）在所述扭簧（71）的彈性作用力的作用下向上轉動至將所述開口（51）關閉。

5.根據權利要求4所述的超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，所述門板（52）上端邊緣處設有環形的密封墊（521），且在所述門板（52）關閉時，所述密封墊（521）壓設在所述門板（52）與所述隔板（5）之間。

6.根據權利要求1-5任一項所述的超低溫激光器芯片老化檢測裝置，其特征在于，所述隔板（5）距離所述罐體（1）的上端的間距為所述罐體（1）總高度的1/5-1/3。