[發(fā)明專利]包括間隙電極的體聲波諧振器、濾波器及電子設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111034257.5 | 申請日： | 2021-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN115765675A | 公開（公告）日： | 2023-03-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬曉丹;郝龍;徐洋 | 申請（專利權(quán)）人： | 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責任公司 |
| 主分類號： | H03H9/17 | 分類號： | H03H9/17;H03H9/54;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金誠同達律師事務(wù)所 11651 | 代理人： | 湯雄軍 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 包括 間隙 電極 聲波 諧振器 濾波器 電子設(shè)備 | ||
1.一種體聲波諧振器，包括：
基底；
底電極；
頂電極；
聲學鏡；和
壓電層，
其中：
所述底電極為包括間隙層的間隙電極，所述間隙層形成所述聲學鏡，頂電極、底電極、壓電層和聲學鏡在諧振器的厚度方向上的重疊區(qū)域限定諧振器的有效區(qū)域；
所述諧振器還包括第一種子層，所述第一種子層的至少一部分限定所述間隙層的上側(cè)邊界；
在底電極的電極連接端，所述第一種子層的邊緣與所述有效區(qū)域的邊緣之間在水平方向上存在第一距離a，在底電極的非電極連接端，所述第一種子層的邊緣與所述有效區(qū)域的邊緣之間在水平方向上存在第二距離b，其中，a和/或b的值不小于-2.0μm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
a和/或b的值不小于-1.5μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振器，其中：
a和/或b的值小于1.0μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的諧振器，其中：
在水平方向上，所述第一種子層的邊緣均處于有效區(qū)域的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
第一種子層的邊緣在水平方向上處于所述聲學鏡的外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述諧振器還設(shè)置有沿所述諧振器的有效區(qū)域設(shè)置的聲學阻抗不匹配結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述諧振器還包括第二種子層，所述第二種子層限定所述聲學鏡的下邊界。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的諧振器，其中：
在水平方向上，在底電極的非電極連接端和/或電極連接端，所述第一種子層的邊緣處于所述第二種子層的邊緣的外側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的諧振器，其中：
所述有效區(qū)域的面積為A，所述第一種子層與所述有效區(qū)域的重合面積為B，則B/A的比值P不小于0.5。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的諧振器，其中：
P的值不小于0.8。
11.一種濾波器，包括根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項所述的諧振器。
12.一種電子設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求11所述的濾波器或根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項所述的諧振器。
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