[發明專利]一種掩膜版搬運車

在審

• 申請號: 202111033738.4
• 申請日: 2021-09-03
• 公開（公告）號: CN113734319A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 史延鋒;史延庫;申端印
• 申請（專利權）人: 昆山合泰智能科技發展有限公司
• 主分類號: B62D63/02
• 分類號: B62D63/02;B65G67/02;B65G47/74;B66F7/00;B66F7/28
• 代理公司: 北京哌智科創知識產權代理事務所(普通合伙) 11745
• 代理人: 包加健

本發明涉及掩膜版制造技術領域，具體公開了一種掩膜版搬運車。該掩膜版搬運車包括可移動的廂體，廂體的前側敞口設置，內部兩側均設置有可上下移動的滑動座，兩個滑動座水平滑動連接有至少一個可展開及收起的伸縮載臺，各伸縮載臺上下隔開設置，且一個伸縮載臺連接有一個載臺驅動裝置；各伸縮載臺可在對應的載臺驅動裝置的驅動下伸出廂體并展開，或者進入廂體并收起。該掩膜版搬運車能夠伸入烘烤機內取放掩膜版，大大降低了勞動強度、提高了作業效率，使用十分方便。

技術領域

本發明涉及掩膜版制造技術領域，尤其涉及一種掩膜版搬運車。

背景技術

在掩膜版的生產制造過程中，一般在涂布光阻薄膜后、曝光后以及顯影后均需將掩膜版移入烘烤機內進行烘烤處理，而掩膜版的轉移一般通過搬運車實現。

現有的搬運車結構比較簡單，包括車體、上下滑動連接車體的升降架、連接于升降架的放置臺及驅動升降架上下移動的驅動裝置。使用時，先將載有掩膜版的搬運車移動至烘烤機處，再將升降架移動至所需高度，然后人工將位于放置臺上的掩膜版移動至烘烤機內；待完成烘干后，人工取出掩膜版并移至搬運車上，然后將載有該掩膜版的搬運車轉移至下一工序。但是，這種人工取放掩膜版的方式存在勞動強度大、烘烤后搬運難度大、工作效率低等問題。

因此，有必要設計一種掩膜版搬運車，以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提出一種掩膜版搬運車，能夠伸入烘烤機內取放掩膜版，大大降低了勞動強度、提高了作業效率，使用十分方便。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種掩膜版搬運車，包括可移動的廂體，所述廂體的前側敞口設置，內部兩側均設置有可上下移動的滑動座，兩個所述滑動座水平滑動連接有至少一個可展開及收起的伸縮載臺，各所述伸縮載臺上下隔開設置，且一個所述伸縮載臺連接有一個載臺驅動裝置；各所述伸縮載臺可在對應的所述載臺驅動裝置的驅動下伸出所述廂體并展開，或者進入所述廂體并收起。

進一步地，所述伸縮載臺包括上下設置且滑動連接的上載臺及下載臺，所述下載臺包括相對設置的兩個豎載板，兩個所述豎載板的相對側中部連接有橫載板，兩個所述橫載板的頂面位于同一平面，且兩端通過橫連接板連接；兩個所述豎載板的側面連接有第一滑軌，所述第一滑軌滑動連接有兩個第一滑塊，兩個所述第一滑塊懸空連接于所述滑動座內側的靠近敞口端；兩個所述橫連接板的底面中心處轉動連接有帶輪，兩個所述帶輪通過同步帶連接；所述同步帶的兩直線段均連接有連接件，兩個所述連接件分別連接所述滑動座及所述上載臺。

進一步地，所述上載臺包括相對設置并通過上連接板連接的兩個上載板，兩個所述上載板分別位于兩個所述橫載板的上方，且底面連接有第二滑軌，所述第二滑軌滑動連接有兩個第二滑塊，兩個所述第二滑塊連接于所述橫載板頂面的靠近敞口端；兩個所述上載板的頂面連接有放置板及位于所述放置板一側的限位板，所述限位板的頂面開設有限位槽。

進一步地，所述橫載板頂面的遠離敞口端連接有帶有滾輪的滾輪組件，所述滾輪與上載板的底面之間滾動接觸。

進一步地，所述下載臺的下方設置有兩個固定板，兩個所述固定板與兩個所述滑動座連接，并且均連接有至少一個磁鐵，遠離敞口處的所述橫連接板連接有分別與各所述磁鐵磁吸連接的鐵板。

進一步地，兩個所述固定板均連接有光電開關，遠離敞口處的所述橫連接板上連接有與所述光電開關配合使用的擋光板；遠離敞口處的所述固定板連接有限位擋板，另一個所述固定板連接有緩沖限位器。

進一步地，所述載臺驅動裝置包括齒條、位于所述齒條的下方并與所述齒條嚙合的齒輪、固定筒、轉軸及手柄；所述齒條與所述豎載板連接；所述固定筒與其中一個所述滑動座連接，所述轉軸同軸轉動連接于所述固定筒內，且一端連接所述手柄，另一端同軸連接所述齒輪。

進一步地，兩個所述滑動座的下方均設置有限位塊，各所述限位塊均懸空連接于所述廂體的內部兩側。