[發(fā)明專(zhuān)利]一種鉻靶材組件的焊接方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111031200.X
• 申請(qǐng)日: 2021-09-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113695730B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;俞佳燁
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K20/02
• 分類(lèi)號(hào): B23K20/02;B23K20/26;B05D1/12
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鉻靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：

在背板的焊接面依次進(jìn)行設(shè)置鋁鎳層和設(shè)置螺紋，之后將背板和鉻靶材進(jìn)行熱等靜壓焊接；

所述鋁鎳層中鋁元素和鎳元素的摩爾比為1:(0.3-0.5)；所述鋁鎳層的厚度為所述螺紋深度的15-30％，所述鋁鎳層的設(shè)置方式包括噴涂，所述噴涂為按配方將鋁粉和鎳粉進(jìn)行混合后采用噴涂的方式設(shè)置于所述背板的焊接面，所述鋁粉的粒度為30-50μm，所述鎳粉的粒度為100-300μm。

2.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述噴涂的方式包括熱噴涂或冷噴涂。

3.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述螺紋的間距為1-2cm。

4.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述螺紋的深度為8-15mm。

5.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述熱等靜壓的溫度為1000-1200℃。

6.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述熱等靜壓的壓強(qiáng)為120-150MPa。

7.如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：

在背板的焊接面依次進(jìn)行設(shè)置鋁鎳層和設(shè)置螺紋，之后將背板和鉻靶材進(jìn)行熱等靜壓焊接；

所述設(shè)置鋁鎳層中鋁元素和鎳元素的摩爾比為1:(0.3-0.5)；所述鋁鎳層的厚度為所述螺紋深度的15-30％；

所述鋁鎳層的設(shè)置方式包括噴涂；所述噴涂為按配方將鋁粉和鎳粉進(jìn)行混合后采用噴涂的方式設(shè)置于所述背板的焊接面；所述鋁粉的粒度為30-50μm；所述鎳粉的粒度為100-300μm；所述噴涂的方式包括熱噴涂或冷噴涂；所述螺紋的間距為1-2cm；所述螺紋的深度為8-15mm；所述熱等靜壓的溫度為1000-1200℃；所述熱等靜壓的壓強(qiáng)為120-150MPa。