[發(fā)明專利]一種用于低壓ESD防護(hù)的雙向DCSCR器件

有效

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• 申請日: 2021-09-02
• 公開（公告）號: CN113838847B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉志偉;陳樂;李慶颯;耿林;杜飛波;侯飛;韓傲然;張鈺鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號: H01L27/02
• 分類號: H01L27/02
• 代理公司: 電子科技大學(xué)專利中心 51203
• 代理人: 甘茂

1.一種用于低壓ESD防護(hù)的雙向DCSCR器件，包括：

第一種導(dǎo)電類型硅襯底(110)，所述第一種導(dǎo)電類型硅襯底(110)上形成的第二種導(dǎo)電類型深阱區(qū)(120)；所述第二種導(dǎo)電類型深阱區(qū)(120)上形成的第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)、第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)，第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)均位于第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)內(nèi)且彼此隔離；

所述第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)內(nèi)依次設(shè)有第一個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(131)和第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(132)，所述第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)內(nèi)依次設(shè)有第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(151)和第二個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(152)，位于第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)之間的第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)內(nèi)依次設(shè)有第三個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(141)、第三個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(142)與第四個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(143)，相鄰重?fù)诫s注入?yún)^(qū)之間均設(shè)有淺溝槽隔離；

所述第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(132)、第三個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(142)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(151)均通過金屬互聯(lián)線(160)相連；所述第一個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(131)與第三個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(141)通過金屬均與端口一相連，所述第四個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(143)與第二個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(152)通過金屬均與端口二相連。

2.一種用于低壓ESD防護(hù)的雙向DCSCR器件，包括：

第一種導(dǎo)電類型硅襯底(110)，所述第一種導(dǎo)電類型硅襯底(110)上形成的第二種導(dǎo)電類型深阱區(qū)(120)；所述第二種導(dǎo)電類型深阱區(qū)(120)上形成的第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)、第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)，第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)均位于第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)內(nèi)且彼此隔離；

所述第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)內(nèi)依次設(shè)有第一個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(131)和第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(132)，所述第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)內(nèi)依次設(shè)有第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(151)和第二個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(152)，位于第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(130)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型阱區(qū)(150)之間的第二種導(dǎo)電類型阱區(qū)(140)內(nèi)依次設(shè)有第三個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(141)、第三個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(142)與第四個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(143)，相鄰重?fù)诫s注入?yún)^(qū)之間均設(shè)有淺溝槽隔離；

所述第一個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(132)、第三個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(142)與第二個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(151)均通過金屬互聯(lián)線(160)相連；所述第一個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(131)與第四個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(143)通過金屬均與端口一相連，所述第三個(gè)第一種導(dǎo)電類型重?fù)诫s重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(141)與第二個(gè)第二種導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入?yún)^(qū)(152)通過金屬均與端口二相連。