[發明專利]一種射頻電源的調諧方法有效
| 申請號： | 202111020439.7 | 申請日： | 2021-09-01 |
| 公開（公告）號： | CN113472319B | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發明（設計）人： | 邱文杰;劉洋 | 申請（專利權）人： | 四川英杰電氣股份有限公司 |
| 主分類號： | H03J7/04 | 分類號： | H03J7/04 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 韓洋 |
| 地址： | 618000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 射頻 電源 調諧 方法 | ||
1.一種射頻電源的調諧方法，其中射頻電源包括頻率控制模塊、閉環控制器，其特征在于，
改變射頻電源頻率，在復數平面中建立相應的曲線；
以復數平面中任意一點作為起點，以復數平面的原點或原點附近的一點為終點，并以起點和終點作參考矢量；
判斷曲線是否為目標曲線，若不是目標曲線，則通過曲線變換得到修正曲線；
所述參考矢量將目標曲線或修正曲線分成左右區域；
根據目標曲線或修正曲線上的復數值處于左右區域的位置調節射頻電源的頻率；
其中，所述曲線變換基于參考矢量將非目標曲線分成兩段，通過函數變換分別將兩段曲線向左、向右變換得到位于參考矢量兩側的修正曲線；或者是通過函數變換將其中一段曲線向左或向右變換得到位于參考矢量兩側的修正曲線。
2.如權利要求1所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述目標曲線或修正曲線上的復數值處于參考矢量的左側區域時，增大或減小射頻電源的頻率，當目標曲線或修正曲線上的復數值處于參考矢量的右側區域時，與處于左側區域時的調節相反。
3.如權利要求1所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述起點位于目標曲線或修正曲線的首尾連線上，或者是首尾連線的延長線上，或者是首尾連線或其延長線的一側。
4.如權利要求1所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述原點附近的一點為反射系數模值小于等于0.5，或射頻電源傳輸效率大于等于75%的區域內一點。
5.如權利要求2所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述函數變換采用矩陣或轉置矩陣，Z為阻抗，所述修正曲線為，所述轉置矩陣為，所述；其中，。
6.如權利要求5所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述目標曲線或修正曲線上取任意復數點Vm：，參考矢量為：，使用與構造行列式：
其中，為復數點的橫坐標，復數點的縱坐標；為參考矢量的橫坐標，為參考矢量的縱坐標；
當T＞0時，通過頻率控制模塊增大射頻電源的頻率；當T＜0時，通過頻率控制模塊減小射頻電源的頻率。
7.如權利要求6所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，運用閉環控制器和頻率控制模塊對射頻電源的頻率進行跟蹤調節。
8.如權利要求1所述的一種射頻電源的調諧方法，其特征在于，所述曲線包括阻抗曲線或導納曲線，或反射系數曲線。
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