[發(fā)明專利]一種大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具及使用方法

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• 申請日: 2021-08-31
• 公開（公告）號: CN115722510A
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王寶立;湯慶敏;秦華兵
• 申請（專利權(quán)）人: 山東華光光電子股份有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 濟(jì)南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219
• 代理人: 趙龍群

本發(fā)明涉及一種大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具及使用方法，屬于半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)領(lǐng)域。夾具包括底座和分體式托盤，其中，底座上放置有分體式托盤，分體式托盤包括上部托盤和下部托盤，上部托盤和下部托盤結(jié)構(gòu)相同，上部托盤上設(shè)置有對應(yīng)的貫穿定位孔，定位孔內(nèi)放置有熱沉，通過上部托盤和下部托盤扣合夾緊熱沉。本發(fā)明避免熱沉放置于平板上進(jìn)行翻面清洗，解決了熱沉清洗不徹底、不均勻、效率低及重復(fù)污染的問題，大幅度提升了清洗質(zhì)量與清洗效率，提升激光器的質(zhì)量與性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具及使用方法，屬于半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

大功率半導(dǎo)體激光器近些年逐漸被社會的各行業(yè)所廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體激光器的光電轉(zhuǎn)換效率遠(yuǎn)高于其它同類產(chǎn)品；其能耗低、器件中熱積累相對較少、壽命長、準(zhǔn)直性好、照明距離遠(yuǎn)等優(yōu)點，使得其作為一種新興的技術(shù)應(yīng)用越來越被認(rèn)可與接受。而大功率半導(dǎo)體激光器所具有的各類優(yōu)點決定其越來越受到社會各界的廣泛重視。

在大功率半導(dǎo)體激光器制備過程中，清洗是整個封裝工藝的起始環(huán)節(jié)，對后道焊接的質(zhì)量保證是至關(guān)重要的。大功率半導(dǎo)體激光器的熱沉等物料加工與運(yùn)輸過程極易引入臟污，直接用于焊接等封裝工藝，容易影響產(chǎn)品可靠性、牢固度、散熱及使用壽命等關(guān)鍵性能指標(biāo)，并會降低合格率影響產(chǎn)品質(zhì)量。所以，提高熱沉等物料的表面潔凈度，最大程度改善產(chǎn)品的表面能、浸潤性等參數(shù)，有利于提高整個封裝產(chǎn)品的質(zhì)量，可以在現(xiàn)有工藝條件不變的情況下，提高產(chǎn)品性能。

現(xiàn)有對熱沉的清洗主要是直接將熱沉放入平板上進(jìn)行清洗，待一面清洗完再翻面清洗另一面，存在清洗不徹底、不均勻，清洗效率低、重復(fù)污染等問題，嚴(yán)重影響激光器的質(zhì)量與性能。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具，避免熱沉放置于平板上進(jìn)行翻面清洗，解決了熱沉清洗不徹底、不均勻、效率低及重復(fù)污染的問題，大幅度提升了清洗質(zhì)量與清洗效率，提升激光器的質(zhì)量與性能。

本發(fā)明還提供上述大功率半導(dǎo)體激光器的表面清洗夾具的使用方法。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具，包括底座和分體式托盤，其中，底座上放置有分體式托盤，分體式托盤包括上部托盤和下部托盤，上部托盤和下部托盤結(jié)構(gòu)相同，上部托盤上設(shè)置有對應(yīng)的貫穿定位孔，定位孔內(nèi)放置有熱沉，通過上部托盤和下部托盤扣合夾緊熱沉。

優(yōu)選的，定位孔內(nèi)中部環(huán)繞設(shè)置有凸臺，熱沉放置于凸臺上，熱沉與凸臺內(nèi)壁留有1-3mm間隙，通過上部托盤和下部托盤之間的凸臺間隙夾緊熱沉。

優(yōu)選的，定位孔內(nèi)四周環(huán)繞設(shè)置有半圓形凹槽，通過半圓形凹槽可使用工具進(jìn)行上下料，方便操作。

優(yōu)選的，定位孔設(shè)置有至少1個，具體的數(shù)量可根據(jù)實際的熱沉清洗數(shù)量確定，若設(shè)置有多個定位孔，則定位孔之間的間隙為30-40mm。

優(yōu)選的，上部托盤四角設(shè)置有角座，通過上部托盤和下部托盤的角座扣合實現(xiàn)扣合定位。

進(jìn)一步優(yōu)選的，1個角座上設(shè)置有倒角，另外3個角座上設(shè)置有圓角，通過倒角和圓角區(qū)分正反方向。

優(yōu)選的，底座為矩形框架，矩形框架的底部支柱為圓柱體，中部支柱為圓柱體，頂部支柱為長方體。清洗裝置的工作區(qū)域是中空圓筒狀的腔室結(jié)構(gòu)，底部支柱和中部支柱設(shè)置為圓柱體可以更好的貼合于清洗裝置的工作區(qū)域，避免常規(guī)的底座尖角損傷腔室。

進(jìn)一步優(yōu)選的，底部支柱和中部支柱直徑均為10mm，頂部支柱的寬和高均為10mm。

上述大功率半導(dǎo)體激光器熱沉的表面清洗夾具的使用方法，操作步驟如下：

(1)將半導(dǎo)體激光器的熱沉放置于分體式托盤的下部托盤的定位孔中，熱沉的臺階一側(cè)向上；