[發明專利]溫度檢測裝置以及半導體熱處理設備

在審

• 申請號: 202111006987.4
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113739946A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 方洋;閆士泉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K7/16;G01K1/14;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市嘉勤知識產權代理有限公司 44651
• 代理人: 董琳

本申請公開一種溫度檢測裝置及半導體熱處理設備，裝配簡單，能夠有效提升拉溫操作的工作效率以及測溫的準確性。所述用于半導體熱處理設備的溫度檢測裝置包括：溫度檢測件，所述溫度檢測件呈桿狀，一端設置有測溫熱傳感器；安裝板，可拆卸地與所述半導體熱處理設備的工藝門連接；驅動部，裝配于所述安裝板表面，所述驅動部包括驅動源以及限位組件，其中所述限位組件夾持所述溫度檢測件，且所述溫度檢測件的長度方向平行于所述安裝板表面；所述驅動源連接至所述限位組件，用于驅動所述限位組件運動，以帶動所述溫度檢測件沿其長度方向運動，使所述溫度檢測件設有所述測溫熱傳感器的一端通過所述工藝門上的通孔伸入所述半導體熱處理設備的工藝管中。

技術領域

本申請涉及半導體加工設備領域，具體涉及一種溫度檢測裝置以及半導體熱處理設備。

背景技術

半導體熱處理(例如立式爐設備、臥式爐設備)是集成電路領域的應用廣泛的設備。為了確認半導體熱處理設備工藝管中各溫區的溫度數據滿足工藝要求，需要對工藝管進行拉溫，采集工藝管內部各個溫區的溫度數據。當前普遍使用的拉溫裝置是一種放置在機臺外部的裝置。該裝置包含一根桿狀的溫度檢測件，其上安裝有測溫熱傳感器(Thermocouple)，溫度檢測件能夠在工藝管內部沿工藝管軸線方向移動，測量各個溫區的溫度。

溫度檢測件包括外套管，外套管內插有單支熱偶，其測量端位于外套管的頂端。在拉溫前，先要將裝有單支熱偶的外套管從工藝管的底部插入到頂部附近，再從工藝管頂部自上而下移動至底部，從而完成對工藝管從頂部到底部的測溫。

如圖1所示為現有拉溫裝置。該裝置包括拉溫裝置基座401、直線模組402、伸長臂403、熱傳感器安裝孔404。溫度檢測件300的端部固定在到熱傳感器安裝孔404上，溫度檢測件300的信號電纜405連接到基座401內部的測控模塊中。如圖2所示，溫度檢測件300從工藝門200的導引口202穿過工藝門200的法蘭201進入工藝管100。溫度檢測件300對準導引口202上的開孔后，啟動圖1中直線模組402。直線模組402帶動伸長臂403和熱傳感器安裝孔404垂直運動，最終帶動溫度檢測件300進入工藝管100，進行溫度測量。

現有技術的缺點包括：第一，現有拉溫裝置使用不方便，在進行拉溫操作前，首先需要將拉溫裝置移動到半導體熱處理設備相應位置，然后調整溫度檢測件300的與工藝門200的相對位置和垂直度，確保溫度檢測件300能夠對準導引口202，并保持垂直狀態。這一調整工作較為復雜，具體工作包括：基座401的位置調節、基座401水平度調節、伸長臂403的高度調節、伸長臂403水平調節、熱傳感器安裝孔404的位置調節等等，操作步驟較多，操作復雜，消耗時間長，并且人工操作誤差較大。如果溫度檢測件300傾斜度過大，會導致拉溫數據失真、測溫熱傳感器剮蹭，甚至會出現損壞工藝管的情況。

第二，現有拉溫裝置在使用過程中會出現不穩定情況。由于工藝管本身結構原因，拉溫裝置的伸長臂403尺寸較大。直線模組402驅動伸長臂移動過程中，溫度檢測件300會出現抖動、傾斜等情況，導致測溫工作無法進行。

亟需提出一種調節方式簡單、使用簡便的溫度檢測裝置，以提高拉溫操作的工作效率和測溫準確性。

發明內容

鑒于此，本申請提供一種溫度檢測裝置及半導體熱處理設備，無需就溫度檢測裝置的裝配進行過多的調節，能夠實現簡單的拉溫操作，提升拉溫操作的工作效率以及測溫的準確性。

本申請提供了一種用于半導體熱處理設備的溫度檢測裝置，包括：溫度檢測件，所述溫度檢測件呈桿狀，一端設置有測溫熱傳感器；安裝板，可拆卸地與所述半導體熱處理設備的工藝門連接；驅動部，裝配于所述安裝板表面，所述驅動部包括驅動源以及限位組件，其中：所述限位組件夾持所述溫度檢測件，且所述溫度檢測件的長度方向平行于所述安裝板表面；所述驅動源連接至所述限位組件，用于驅動所述限位組件運動，以帶動所述溫度檢測件沿其長度方向運動，使所述溫度檢測件設有所述測溫熱傳感器的一端通過所述工藝門上的通孔伸入所述半導體熱處理設備的工藝管中。