[發(fā)明專利]中間制品、蒸鍍掩模的制造方法以及對位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111001437.3
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN113684445B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設計）人: 內田泰弘;松浦幸代;池永知加雄
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;鄧毅

1.一種中間制品，其是蒸鍍掩模的中間制品，其特征在于，

具備形成有多個貫通孔的多個蒸鍍掩模部分、和在俯視時包圍所述蒸鍍掩模部分且與所述蒸鍍掩模部分部分地連接的支承部分，

所述蒸鍍掩模部分具備：

形成有所述貫通孔的第1面及第2面；

一對長側面，它們與所述第1面和所述第2面連接，限定所述蒸鍍掩模部分在所述蒸鍍掩模部分的長度方向上的輪廓；以及

一對短側面，它們與所述第1面和所述第2面連接，限定所述蒸鍍掩模部分在所述蒸鍍掩模部分的寬度方向上的輪廓，

所述長側面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面?zhèn)龋缓偷?端部，其位于所述第2面?zhèn)龋椅挥诒人龅?端部靠內側的位置，并且所述第1部分向內側凹陷，

所述貫通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面?zhèn)龋缓偷?凹部，其形成于所述第2面?zhèn)龋以诳走B接部處與所述第1凹部連接，

所述長側面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔連接部靠所述第1面?zhèn)鹊奈恢谩?/p>

2.根據權利要求1所述的中間制品，其特征在于，

所述第1端部與所述第1面和所述長側面相連接的第1連接部一致，所述第1連接部位于與所述第1面相同的平面上。

3.根據權利要求1所述的中間制品，其特征在于，

所述第1端部位于比所述第1面和所述長側面相連接的第1連接部靠外側的位置，所述第1連接部位于與所述第1面相同的平面上。

4.一種中間制品，其是蒸鍍掩模的中間制品，其特征在于，

具備形成有多個貫通孔的多個蒸鍍掩模部分、和在俯視時包圍所述蒸鍍掩模部分且與所述蒸鍍掩模部分部分地連接的支承部分，

所述蒸鍍掩模部分具備：

形成有所述貫通孔的第1面及第2面；

一對長側面，它們與所述第1面和所述第2面連接，限定所述蒸鍍掩模部分在所述蒸鍍掩模部分的長度方向上的輪廓；以及

一對短側面，它們與所述第1面和所述第2面連接，限定所述蒸鍍掩模部分在所述蒸鍍掩模部分的寬度方向上的輪廓，

所述長側面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面?zhèn)龋缓偷?端部，其位于所述第2面?zhèn)龋椅挥诒人龅?端部靠內側的位置，并且所述第1部分向內側凹陷，

所述第1端部與所述第1面和所述長側面相連接的第1連接部一致，所述第1連接部位于與所述第1面相同的平面上。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的中間制品，其特征在于，

所述第1面和所述長側面相連接的位于與所述第1面相同的平面上的第1連接部、與所述長側面的所述第1部分的所述第1端部之間的在所述第1面的面方向上的距離為3.5μm以下。

6.根據權利要求1至4中的任意一項所述的中間制品，其特征在于，

所述第1部分位于比通過所述第1端部和所述第2端部的假想的平面或直線靠內側的位置。

7.根據權利要求1至4中的任意一項所述的中間制品，其特征在于，

所述蒸鍍掩模部分的厚度為50μm以下。

8.根據權利要求1至4中的任意一項所述的中間制品，其特征在于，

所述第2端部與所述第2面和所述長側面相連接的第2連接部一致，所述第2連接部位于與所述第2面相同的平面上。