[發(fā)明專利]崩環(huán)回收架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110997365.6
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113859723B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳應(yīng)秋;尹俊輝;沈文強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 智新半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D81/02;B65D25/00;B65D85/30
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 韓夢晴

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體物料存儲技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明提供一種崩環(huán)回收架，包括：底座機(jī)構(gòu)，包括基座；第一限位機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于多個(gè)支撐件，多個(gè)所述支撐件的底端均固定于所述基座上，多個(gè)所述支撐件的軸線方向均與所述基座的主表面垂直，多個(gè)所述支撐件用于限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處。本發(fā)明提供的崩環(huán)回收架，通過設(shè)置限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處的多個(gè)支撐件，對晶圓崩環(huán)起到暫存收納作用，同時(shí)基座邊沿對較薄的晶圓崩環(huán)起到物理防護(hù)作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體物料存儲領(lǐng)域，特別涉及崩環(huán)回收架。

背景技術(shù)

如圖1-2所示，在半導(dǎo)體行業(yè)，當(dāng)晶圓上的芯片10被設(shè)備自動取片，手工去掉UV膜20后，晶圓崩環(huán)30需要進(jìn)行回收。由于晶圓崩環(huán)為3毫米左右形狀不規(guī)則的不銹鋼片，內(nèi)圓31為完整的圓形，外邊沿不規(guī)則，包括四個(gè)平直邊沿321以及兩個(gè)形狀不同的豁口322，直接進(jìn)行回收暫存不便，為了避免或減少在回收存放過程中晶圓崩環(huán)變形導(dǎo)致報(bào)廢，同時(shí)方便回收與統(tǒng)計(jì)，需要設(shè)計(jì)專門的崩環(huán)回收架對晶圓崩環(huán)進(jìn)行暫存收納。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供崩環(huán)回收架，以解決對厚度較薄形狀不規(guī)則的晶圓崩環(huán)的暫存收納不便的技術(shù)問題。

本發(fā)明提供一種崩環(huán)回收架，包括：

底座機(jī)構(gòu)，包括基座；

第一限位機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于多個(gè)支撐件，多個(gè)所述支撐件的底端均固定于所述基座上，多個(gè)所述支撐件的軸線方向均與所述基座的主表面垂直，多個(gè)所述支撐件用于限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處。

一些實(shí)施例中，所述基座的底面設(shè)有螺紋孔以及與所述螺紋孔相貫通的沉槽孔，多個(gè)所述支撐件的底端面設(shè)有螺釘孔，所述沉槽孔和所述螺紋孔用于穿過螺釘桿螺接于所述螺釘孔中，所述沉槽孔用于限位螺釘頭。

一些實(shí)施例中，所述基座的頂面設(shè)有多個(gè)限位槽，多個(gè)所述支撐件和多個(gè)所述限位件均固定對應(yīng)的限位槽中。

一些實(shí)施例中，多個(gè)所述支撐件均為圓柱桿件。

一些實(shí)施例中，多個(gè)所述支撐件均為中空圓柱桿件。

一些實(shí)施例中，所述基座為鋼板件。

一些實(shí)施例中，所述支撐件的數(shù)量為四個(gè)，分別沿著所述基座的中心為圓心等徑等圓心角均勻間隔分布。

一些實(shí)施例中，還包括第二限位機(jī)構(gòu)，所述第二限位機(jī)構(gòu)包括至少一對限位件，一對所述限位件位于相向設(shè)置的一對所述支撐件的兩側(cè)，分別用于限位于崩環(huán)的兩側(cè)平直外邊沿處。

一些實(shí)施例中，所述基座上開設(shè)有兩個(gè)缺口，兩個(gè)所述缺口位于相向設(shè)置的另一對所述支撐件的兩側(cè)。

一些實(shí)施例中，一對所述限位件和對應(yīng)的一對所述支撐件沿著同一條直線間隔分布。

本發(fā)明提供的技術(shù)方案帶來的有益效果包括：

本發(fā)明提供的崩環(huán)回收架，通過設(shè)置限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處的多個(gè)支撐件，對晶圓崩環(huán)起到暫存收納作用，同時(shí)基座邊沿對較薄的晶圓崩環(huán)起到物理防護(hù)作用。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為晶圓崩環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明提供的崩環(huán)回收架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明提供的基座的底面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明提供的基座的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：