[發(fā)明專利]一種多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110995332.8
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113589131A
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁丙生;劉鎮(zhèn)嶺;王劍斌;嚴(yán)順
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州晶合測控技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01R1/02;G01N21/84;B25H1/02
• 代理公司: 濟(jì)南寶宸專利代理事務(wù)所(普通合伙) 37297
• 代理人: 荊向勇

1.一種多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，包括：腔室測試主體，其特征在于：所述腔室測試主體包括箱體，所述箱體底部設(shè)置有托板，所述托板上設(shè)置有變溫臺，所述箱體側(cè)面開設(shè)有長條形通孔，所述通孔內(nèi)相對滑動(dòng)的設(shè)置有機(jī)械手。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述箱體上壁設(shè)置有觀察窗，所述觀察窗上設(shè)置有遮光密封蓋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述箱體上方還設(shè)置有顯微觀察系統(tǒng)，所述顯微觀察系統(tǒng)包括：軌道，所述軌道上設(shè)置有滑塊，所述滑塊上設(shè)置有顯微鏡，所述顯微鏡正下方設(shè)置有顯微觀察窗，所述顯微觀察窗位于變溫臺正上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述軌道設(shè)置于支架上，所述支架上還通過連桿連接有顯示器，所述顯微鏡和顯示器電連接，所述顯微鏡上設(shè)置有手動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述腔室測試主體包括若干個(gè)，若干個(gè)所述腔室測試主體都設(shè)置于桌面上，所述桌面上還設(shè)置有支架。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述桌面下方設(shè)置有加熱控制模塊，所述加熱控制模塊與腔室測試主體相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述腔室測試主體還連接有低溫控制柜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔室TFT光電穩(wěn)定性測試設(shè)備，其特征在于：所述腔室測試主體還連接有測試儀表。