[發明專利]一種金屬復合柔性襯底及其制備方法

在審

• 申請號: 202110991856.X
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113697757A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 楊卓青;李夢秋;李亞輝;王艷
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01B7/16
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

1.一種金屬復合柔性襯底，其特征在于，包括：

聚合物結構；以及

金屬微結構，其與所述聚合物結構交錯間隔布置；

其中，所述聚合物結構和所述金屬微結構的厚度相同，并且通過所述聚合物結構和所述金屬微結構的寬度、所述聚合物結構與所述金屬微結構之間的寬度比例以及所述聚合物結構和所述金屬微結構的布置方向確定所述金屬復合柔性襯底的熱膨脹系數各向異性及可調控性。

2.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述金屬微結構包括：

微結構溝槽；

金屬種子層，其位于所述微結構溝槽底部；以及

填充金屬，其填充所述微結構溝槽。

3.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述聚合物結構的材料包括聚酰亞胺。

4.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述金屬種子層包括鉻金屬層以及銅金屬層；和\或

所述填充金屬的材料包括銅。

5.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述聚合物結構和所述金屬微結構的厚度為5-200μm。

6.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述聚合物結構的寬度為10-3000μm；和\或

所述金屬微結構的寬度為10-300μm；和\或

所述聚合物結構與所述金屬微結構之間的寬度比例為300∶1至1∶1。

7.根據權利要求1所述的金屬復合柔性襯底，其特征在于，所述金屬微結構與所述金屬復合柔性襯底邊緣處的所述聚合物結構平行布置；和\或

所述金屬微結構與所述金屬復合柔性襯底邊緣處的所述聚合物結構呈傾斜角度布置。

8.一種制備權利要求1-7之一所述的金屬復合柔性襯底的方法，其特征在于，包括下列步驟：

在基底上涂覆聚合物前驅體溶液并且烘干以構造聚合物層；

在所述聚合物層上涂覆光刻膠并且烘干以構造光刻膠層；

將光刻掩模版置于所述光刻膠層上并且進行曝光；

將所述光刻膠層浸入顯影液中進行圖案化并且烘干以構造微結構溝槽，其中所述微結構溝槽與聚合物結構交錯間隔布置；

在所述微結構溝槽以及所述光刻膠層上構造金屬種子層；

去除所述聚合物層上方的光刻膠層及其上方的金屬種子層；

在所述微結構溝槽內填充金屬以構造金屬微結構；以及

剝離所述基底以獲得所述金屬復合柔性襯底。

9.根據權利要求8所述的制備金屬復合柔性襯底的方法，其特征在于，通過旋轉涂抹法涂敷所述聚合物前驅體溶液或者涂覆光刻膠；和\或

通過磁控濺射法構造所述金屬種子層；和\或

通過電鍍法在所述微結構溝槽內填充金屬。

10.一種柔性電阻式應變傳感器，其具有權利要求1-7之一所述的金屬復合柔性襯底。