[發明專利]一種自動化半導體納米電熱膜除膜機

在審

• 申請號: 202110989991.0
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113579483A
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 羅浩;楊小華;蔡建財
• 申請（專利權）人: 福建晶烯新材料科技有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/70;B23K26/142;B23K26/08
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 謝秀娟

本發明涉及一種自動化半導體納米電熱膜除膜機。本發明采用光纖激光器輸出激光，再經高速掃描振鏡系統實現激光除膜功能，對半導體納米電熱膜發熱片的電熱膜除膜效率高且精度較高，具有較高可靠性且可以精準控制除膜時的深度、光滑度、精細度。而激光打標頭采用光線激光器具有較高的光電轉換效率，通過自然風冷方式，整體能耗低，運行穩定可滿足工業生產環境，整機體積較小，能耗低，加工效率高且加工效果更好。

技術領域

本發明涉及激光除膜設備技術領域，具體為一種自動化半導體納米電熱膜除膜機。

背景技術

半導體納米電熱膜是新一代的發熱材料。它的發熱方式不同于傳統金屬電阻絲。它具有抗腐蝕，抗氧化，耐溫度驟變，絕緣，阻燃，防潮，硬度高，無毒，無有害輻射，無不良物質排放等優良的物理化學性質。它零感抗，功率因素為1。并且以面狀發熱，熱傳遞效果好，電熱轉換效率高：80％～97％，具有較好的節能優勢。壽命長，不易衰減等顯著優點。

但由于半導體納米電熱膜鍍膜技術是將一整個面經過高溫環境鍍膜在基體上，較難實現局部鍍膜。然后在兩側電極處接上電源通電工作發熱。但超出接電電極區域也會存在導電電熱膜膜層，造成未發熱區域存在漏電問題。若鍍膜工藝不成熟的，還會在未鍍膜背面也鍍上了少量導電電熱膜層，在通電時本是基體結緣面鍍上了電熱膜層也將存在感應電壓，使得本身絕緣的基體變成導體，造成漏電，跳閘等危險，嚴重影響使用效果。

為了解決這一鍍膜缺陷，目前運用耐高溫，耐腐蝕的金屬，非金屬泥漿等材料，將其覆蓋在鍍膜基體上無需鍍膜的地方。但這種方式將嚴重影響制作生產的效率，降低產量，增大人工成本，且在鍍膜時高溫氣流狀態下，覆蓋的材質存在熱脹冷縮，在氣流狀態下偏移等問題，導致誤差較大，無法精準完全覆蓋無需鍍膜的區域，成品率降低。由于半導體納米電熱膜在除膜時對除膜厚度要求和位置定位的精準度要求較為嚴格，因此需要一套更加合適的設備來完成對半導體納米電熱膜的除膜工作。

發明內容

鑒于現有技術中所存在的問題，本發明公開了一種自動化半導體納米電熱膜除膜機，采用的技術方案是，包括基座，所述基座下表面固定安裝有滾輪，所述基座側面開設有儲物柜，所述儲物柜中放置有吸塵器主機和電腦主機，所述基座上部固定安裝有上殼體，所述上殼體內腔中在所述基座上表面安裝有激光除膜裝置、傳送裝置，激光除膜裝置采用橫向和縱向兩自由度移動，所述傳送裝置位于所述激光除膜裝置下方中間位置且從所述上殼體側面伸出，所述傳送裝置上表面兩側安裝有側邊限位裝置，所述上殼體頂部安裝有警示燈，正面左側鑲嵌安裝有主控單元，正面右側鑲嵌安裝有電腦顯示屏，所述電腦顯示屏下方在所述上殼體上安裝有鍵盤，所述激光除膜裝置、所述電腦顯示屏、鍵盤分別與所述電腦主機電性連接，所述激光除膜裝置、傳送裝置、警示燈、側邊限位裝置、吸塵器主機、電腦主機分別與所述主控單元電性連接，通過主控單元和電腦主機控制激光除膜裝置的除膜運動軌跡、除膜深度等，所述吸塵器主機通過軟管與所述激光除膜裝置連通連接，在除膜過程中可以通過吸塵器主機直接將產生的煙塵等抽走，避免有害氣體的排出。

作為本發明的一種優選方案，所述上殼體正面中間位置轉動安裝有倉門，所述倉門兩側通過氣壓伸縮桿與所述上殼體連接，通過氣壓伸縮桿對倉門有支撐作用，保證倉門打開后的穩定，所述倉門正面安裝有護目觀察窗，通過護目觀察窗可以觀察內部加工情況，而不會被激光的光亮傷到眼睛，所述上殼體正面右側轉動配合安裝有鍵盤放置臺，與所述鍵盤放置臺相對應的所述上殼體上開設有收納腔，所述鍵盤卡扣放置在所述鍵盤放置臺上，從而可以旋轉折疊鍵盤放置臺將鍵盤與鍵盤放置臺一同收納到收納腔中，所述上殼體左側端面下方開設有出料槽口，所述傳送裝置從所述出料槽口處伸出，加工完成的產品在傳送裝置的傳送下從出料槽口處送出。