[發明專利]一種半導體異形件清洗系統

在審

• 申請號: 202110987113.5
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113649348A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 袁建軍;李蒙;馬書根;鮑晟;賈文川;杜亮
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/687;F26B21/14
• 代理公司: 嘉興華申知識產權代理事務所(普通合伙) 33454
• 代理人: 徐桂紅

1.一種半導體異形件(400)清洗系統，其特征在于，包括承載架(100)、清洗設備(200)和機械手(300)，

所述承載架(100)用于放置若干異形件(400)；

所述清洗設備(200)包括外殼(210)、清洗平臺(220)、若干浸泡槽(230)、若干吹掃機構(240)、進料機構(250)和出料機構(260)，所述清洗平臺(220)固定在外殼(210)內部，所述清洗平臺(220)的長度方向與所述外殼(210)的水平軸向一致，所述外殼(210)包括連線與所述清洗平臺(220)長度方向垂直的左側壁(211)和右側壁(212)，所述清洗平臺(220)上沿其長度方向上依次設有進料機構(250)、一一交替設置的所述浸泡槽(230)和所述吹掃機構(240)、出料機構(260)，所述左側壁(211)上設有進料口(211a)和出料口(211b)，所述進料口(211a)的位置和所述進料機構(250)的位置對應，所述出料口(211b)的位置和所述出料機構(260)的位置對應；

所述機械手(300)包括執行結構(310)和支撐部(320)，

所述進料機構(250)可相對所述進料口(211a)內外往復滑動，所述承載架(100)可放置于滑動在所述進料口(211a)之外的所述進料機構(250)上，使得所述進料機構(250)將所述承載架(100)送進去，所述執行結構(310)可抓住所述承載架(100)，所述支撐部(320)水平滑動連接在所述外殼(210)內部，使得所述機械手(300)能沿著所述清洗平臺(220)的長度方向水平移動，使得所述承載架(100)依次經過交替設置的所述浸泡槽(230)和所述吹掃機構(240)進行作業，所述執行結構(310)滑動連接在所述支撐部(320)上，使得所述執行結構(310)可上下升降，方便所述執行結構(310)抓住所述承載架(100)，且方便所述承載架(100)在所述浸泡槽(230)和所述吹掃機構(240)之間的位置切換，所述出料機構(260)可相對所述出料口(211b)內外往復滑動，所述承載架(100)可放置在所述出料機構(260)上，使得所述出料機構(260)將所述承載架(100)送出去。

2.如權利要求1的一種半導體異形件(400)清洗系統，其特征在于，所述承載架(100)包括夾板(110)，所述夾板(110)上設有上下兩排圓形通孔(111)，上排每個所述圓形通孔(111)與所述夾板(110)的上邊緣均連通一個上缺口(112)，下排每個所述圓形通孔(111)與所述夾板(110)的下邊緣均連通一個下缺口(113)，且所述夾板(110)具有彈性，所述上缺口(112)和所述下缺口(113)的寬度小于所述圓形通孔(111)的直徑，所述異形件(400)的直徑等于所述圓形通孔(111)的直徑，所述異形件(400)可從所述上缺口(112)放入上排的所述圓形通孔(111)內，所述異形件(400)可從所述下缺口(113)放入下排的所述圓形通孔(111)內。