[發明專利]一種N型電池硼擴SE結構的制作方法

在審

• 申請號: 202110986034.2
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113948374A
• 公開（公告）日: 2022-01-18
• 發明（設計）人: 歐文凱;向亮睿
• 申請（專利權）人: 普樂新能源科技（徐州）有限公司
• 主分類號: H01L21/223
• 分類號: H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博;卓彩霞

1.一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，包括以下步驟：

S1：將N型硅片垂直或水平插入舟內，并放入爐管；

S2：升溫至擴散溫度，進行抽空及檢漏；

S3：溫度保持在擴散溫度，恒壓通入氮氣、氧氣，在硅片表面制作一層薄層氧化硅；

S4：溫度保持在擴散溫度，通入氮氣、氧氣和硼源對硅片表面進行沉積擴散，將硼原子均勻分布在硅片表面；

S5：升溫至推結溫度，并通入氮氣穩壓；

S6：溫度保持在推結溫度，并恒溫推進一段時間，形成生成淺結輕摻雜區；

S7：氮氣氛圍降溫，并出爐管；

S8：通過激光對擴散后硅片進行開槽；

S9：在硅片正面對應電極的激光開槽位置印刷硼漿，并烘干；

S10：將印刷硼漿后的硅片送入退火爐管，在氮氣、氧氣氛圍下，進行高溫恒壓重摻雜推進及退火；

S11：氮氣氛圍下，降溫出管，完成硼擴SE結構。

2.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S1中，所述N型硅片作為襯底材料，通過清洗制絨使硅片表面產生金字塔狀結構。

3.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S2中，擴散溫度為800～1100℃。

4.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S7，出爐管后，制作的輕摻雜區擴散方阻在120ohm/squ～160ohm/squ。

5.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S8中激光開槽時，選擇功率在24W-30W之間，打標速度40000-60000mm/s，頻率在200KHz-240KHz。

6.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S10中，退火溫度在900℃-1000℃，時間保持在20min-60min。

7.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S10中，制作重摻雜區，擴散方阻控制在60ohm/squ～80ohm/squ。

8.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S4中，硼源為BBr₃/BCl₃蒸汽。

9.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S3中，氮氣流量控制在1000sccm-3000sccm，氧氣流量控制在500sccm-1000sccm，時間3min-10min。

10.根據權利要求1所述的一種N型電池硼擴SE結構的制作方法，其特征是，步驟S4中，氮氣流量為1000sccm-2000sccm，氧氣流量為500sccm-1000sccm，硼源蒸汽流量為500sccm-1000sccm，時間控制在10min-20min。