[發(fā)明專利]一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110986034.2
• 申請(qǐng)日: 2021-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN113948374A
• 公開（公告）日: 2022-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐文凱;向亮睿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普樂(lè)新能源科技（徐州）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/223
• 分類號(hào): H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博;卓彩霞

1.一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，包括以下步驟：

S1：將N型硅片垂直或水平插入舟內(nèi)，并放入爐管；

S2：升溫至擴(kuò)散溫度，進(jìn)行抽空及檢漏；

S3：溫度保持在擴(kuò)散溫度，恒壓通入氮?dú)狻⒀鯕猓诠杵砻嬷谱饕粚颖友趸瑁?/p>

S4：溫度保持在擴(kuò)散溫度，通入氮?dú)狻⒀鯕夂团鹪磳?duì)硅片表面進(jìn)行沉積擴(kuò)散，將硼原子均勻分布在硅片表面；

S5：升溫至推結(jié)溫度，并通入氮?dú)夥€(wěn)壓；

S6：溫度保持在推結(jié)溫度，并恒溫推進(jìn)一段時(shí)間，形成生成淺結(jié)輕摻雜區(qū)；

S7：氮?dú)夥諊禍兀⒊鰻t管；

S8：通過(guò)激光對(duì)擴(kuò)散后硅片進(jìn)行開槽；

S9：在硅片正面對(duì)應(yīng)電極的激光開槽位置印刷硼漿，并烘干；

S10：將印刷硼漿后的硅片送入退火爐管，在氮?dú)狻⒀鯕夥諊拢M(jìn)行高溫恒壓重?fù)诫s推進(jìn)及退火；

S11：氮?dú)夥諊拢禍爻龉埽瓿膳饠U(kuò)SE結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S1中，所述N型硅片作為襯底材料，通過(guò)清洗制絨使硅片表面產(chǎn)生金字塔狀結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S2中，擴(kuò)散溫度為800～1100℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S7，出爐管后，制作的輕摻雜區(qū)擴(kuò)散方阻在120ohm/squ～160ohm/squ。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S8中激光開槽時(shí)，選擇功率在24W-30W之間，打標(biāo)速度40000-60000mm/s，頻率在200KHz-240KHz。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S10中，退火溫度在900℃-1000℃，時(shí)間保持在20min-60min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S10中，制作重?fù)诫s區(qū)，擴(kuò)散方阻控制在60ohm/squ～80ohm/squ。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S4中，硼源為BBr₃/BCl₃蒸汽。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S3中，氮?dú)饬髁靠刂圃?000sccm-3000sccm，氧氣流量控制在500sccm-1000sccm，時(shí)間3min-10min。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種N型電池硼擴(kuò)SE結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征是，步驟S4中，氮?dú)饬髁繛?000sccm-2000sccm，氧氣流量為500sccm-1000sccm，硼源蒸汽流量為500sccm-1000sccm，時(shí)間控制在10min-20min。