[發(fā)明專(zhuān)利]一種自動(dòng)匹配式芯片靈敏度測(cè)試裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110985997.0
• 申請(qǐng)日: 2021-08-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113671352A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱小煒;張力天;姜祁峰;丁立業(yè);高波;馬春宇;王玉如
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)促進(jìn)中心
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 合肥云道爾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 34230
• 代理人: 陳蘭

1.一種自動(dòng)匹配式芯片靈敏度測(cè)試裝置，其特征在于，包括矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(1)、傳輸線纜(2)、阻抗調(diào)配器(3)、控制電腦(6)，所述矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(1)通過(guò)傳輸線纜(2)與阻抗調(diào)配器(3)連接，所述阻抗調(diào)配器(3)通過(guò)第一網(wǎng)線(5)與控制電腦(6)通信連接，所述控制電腦(6)通過(guò)第二網(wǎng)線(7)與所述矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(1)通信連接，所述阻抗調(diào)配器(3)接到被測(cè)樣品(4)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)匹配式芯片靈敏度測(cè)試裝置，其特征在于，所述被測(cè)樣品(4)包括待測(cè)芯片(14)和匹配裝置，所述待測(cè)芯片(14)安裝在匹配裝置上再與所述阻抗調(diào)配器(3)相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)匹配式芯片靈敏度測(cè)試裝置，其特征在于，所述匹配裝置包括SMA轉(zhuǎn)接頭(8)、射頻傳輸線(9)、PCB綁定PAD(10)、被測(cè)芯片綁定PAD(12)、PAB測(cè)試電路板(13)，所述SMA轉(zhuǎn)接頭(8)、PCB綁定PAD(10)分別安裝在所述PAB測(cè)試電路板(13)上，所述SMA轉(zhuǎn)接頭(8)與PCB綁定PAD(10)之間通過(guò)射頻傳輸線(9)連接，所述PCB綁定PAD(10)與被測(cè)芯片綁定PAD(12)通過(guò)芯片綁定線(11)連接，所述被測(cè)芯片綁定PAD(12)安裝在所述待測(cè)芯片(14)上，所述SMA轉(zhuǎn)接頭(8)用于與所述阻抗調(diào)配器(3)相連接。

4.一種基于權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的一種自動(dòng)匹配式芯片靈敏度測(cè)試裝置的測(cè)試方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(1)通過(guò)傳輸線纜(2)和阻抗調(diào)配器(3)連接，再接到被測(cè)樣品(4)上，獲取被測(cè)樣品(4)的芯片靈敏度；

(2)阻抗調(diào)配器(3)通過(guò)第一網(wǎng)線(5)被控制電腦(6)設(shè)置成不同的匹配電路，通過(guò)控制電腦(6)將匹配電路設(shè)置成史密斯圓圖上能設(shè)定的所有的點(diǎn)；

(3)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(1)將反射的最低能量以及對(duì)應(yīng)的頻點(diǎn)記錄，通過(guò)第二網(wǎng)線(7)傳給制電腦(6)并記錄，記錄指定芯片工作頻率下能量吸收最低時(shí)的阻抗調(diào)配器(3)參數(shù)，通過(guò)控制電腦(6)將阻抗調(diào)配器(3)的參數(shù)值固定為上述能量吸收最低時(shí)的參數(shù)；

(4)將阻抗調(diào)配器(3)和被測(cè)樣品(4)作為一個(gè)整體，待測(cè)芯片(14)處于匹配狀態(tài)；

(5)將阻抗調(diào)配器(3)和被測(cè)樣品(4)構(gòu)成的整體，使用靈敏度測(cè)試設(shè)備測(cè)出其靈敏度。