[發(fā)明專(zhuān)利]正型光刻膠及制備方法、玻璃殼體的制備方法和電子設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110985128.8 | 申請(qǐng)日: | 2021-08-25 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN113671794A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-11-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 敖玉銀;張濤;邱驚龍;韓澤;詹建波;鄭俊威 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | OPPO廣東移動(dòng)通信有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G03F7/039 | 分類(lèi)號(hào): | G03F7/039;H05K5/02 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 熊永強(qiáng) |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光刻 制備 方法 玻璃 殼體 電子設(shè)備 | ||
1.一種正型光刻膠,其特征在于,包括酚醛樹(shù)脂、光敏劑、助劑和溶劑,所述酚醛樹(shù)脂的重均分子量大于或等于18000,所述助劑包括交聯(lián)劑,所述交聯(lián)劑的結(jié)構(gòu)式如式(I)所示:
2.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述正型光刻膠中所述酚醛樹(shù)脂的質(zhì)量占比為20%-25%,所述交聯(lián)劑的質(zhì)量占比為0.5%-2%。
3.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述酚醛樹(shù)脂的重均分子量為18000-30000,所述酚醛樹(shù)脂的軟化點(diǎn)大于160℃。
4.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述酚醛樹(shù)脂的端基包括二甲酚基。
5.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述酚醛樹(shù)脂包括高鄰位酚醛樹(shù)脂,所述酚醛樹(shù)脂中所述高鄰位酚醛樹(shù)脂的質(zhì)量占比大于或等于90%。
6.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述正型光刻膠中所述光敏劑的質(zhì)量占比為4%-5%;
所述光敏劑包括重氮萘醌磺酸酯類(lèi),所述重氮萘醌磺酸酯類(lèi)包括2,3,4-三羥基二苯甲酮-2,1,5-重氮萘醌磺酸酯和2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮-2,1,5-重氮萘醌磺酸酯中的至少一種,所述重氮萘醌磺酸酯類(lèi)中羥基的酯化率為66%-88%。
7.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述正型光刻膠中所述助劑的質(zhì)量占比為2%-5%;
所述助劑還包括溶解促進(jìn)劑、偶聯(lián)劑和流平劑中的至少一種,所述正型光刻膠中所述溶解促進(jìn)劑的質(zhì)量占比為1%-2%,所述偶聯(lián)劑的質(zhì)量占比為0.1%-0.5%,所述流平劑的質(zhì)量占比為0.1%-0.5%。
8.如權(quán)利要求7所述的正型光刻膠,其特征在于,所述溶解促進(jìn)劑包括4-[4-[1,1-雙(4-羥苯基)乙基]]-α,α-二甲基芐基苯酚、2-環(huán)己基-4-[2-[3-[2-(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)丙-2-基]苯基]丙-2-基]-5-甲基苯酚、2,6-雙(4-羥基-2,5-二甲基芐基)-4-甲基苯酚、4,6-雙[2-(4-羥基苯基)丙-2-基]苯-1,3-二醇、2,6-雙[(4-羥基-3,5-二甲基苯基)甲基]-4-甲基苯酚、4,4'-(環(huán)己烷-1,1-二基)二酚和式(II)所示的物質(zhì)中的至少一種,
9.如權(quán)利要求7所述的正型光刻膠,其特征在于,所述偶聯(lián)劑包括硅烷偶聯(lián)劑,所述硅烷偶聯(lián)劑含有氨基、酰胺基、脲基、酮亞胺基、異氰酸酯基、巰基、異氰脲酸環(huán)骨架、甲基丙烯酰基和苯乙烯基中的至少一種。
10.如權(quán)利要求7所述的正型光刻膠,其特征在于,所述流平劑包括含氟的表面活性劑、含硅酮的表面活性劑、含聚環(huán)氧烷烴的表面活性劑和含聚甲基丙烯酸酯的表面活性劑中的至少一種。
11.如權(quán)利要求1所述的正型光刻膠,其特征在于,所述正型光刻膠中所述溶劑的質(zhì)量占比為65%-75%,所述溶劑的沸點(diǎn)為120℃-170℃,所述溶劑包括酯類(lèi)、醇類(lèi)和酮類(lèi)化合物中的至少一種,所述酯類(lèi)包括丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯和乳酸乙酯中的至少一種。
12.一種正型光刻膠的制備方法,其特征在于,包括:
將酚醛樹(shù)脂、光敏劑、助劑和溶劑混合得到混合液,其中,所述酚醛樹(shù)脂的重均分子量大于或等于18000,所述助劑包括交聯(lián)劑,所述交聯(lián)劑的結(jié)構(gòu)式如式(I)所示:
所述混合液經(jīng)過(guò)濾后得到正型光刻膠。
13.如權(quán)利要求12所述的制備方法,其特征在于,按質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì),所述混合液包括20%-25%的所述酚醛樹(shù)脂,4%-5%的所述光敏劑,0.5%-2%的所述交聯(lián)劑,65%-75%的所述溶劑。
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