[發明專利]半導體檢測夾緊工裝

在審

• 申請號: 202110983354.2
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113414730A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 曹瑞;張靜;何登群
• 申請（專利權）人: 江蘇譽滿機電科技有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G01R31/26;B03C3/28;B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 謝冰

1.半導體檢測夾緊工裝，包括箱體（1）和電機（5），其特征在于，還包括：

工作臺（2），固定連接在箱體（1）頂部，用以放置半導體本體（201）；

所述箱體（1）內設有密封筒（604），所述密封筒（604）內固定連接有固定板（7），所述密封筒（604）內滑動連接有第一滑動板（702）和第二滑動板（703），所述第一滑動板（702）和第二滑動板（703）位于固定板（7）兩端，所述第一滑動板（702）和第二滑動板（703）之間連接有連接桿（701），所述第二滑動板（703）與固定板（7）之間連接有第二彈簧（704），所述工作臺（2）頂部設有負壓口（705），所述負壓口（705）與密封筒（604）頂部相連通，所述箱體（1）內設有控制第一滑動板（702）和第二滑動板（703）滑動的氣動機構；

所述氣動機構包括第二曲軸（601）和第二活塞組件（602），所述第二曲軸（601）固定在第一轉軸（6）上，所述第二活塞組件（602）位于箱體（1）內，所述第二曲軸（601）與第二活塞組件（602）轉動連接，所述第二活塞組件（602）與密封筒（604）之間連接有第二管道（603），所述第二管道（603）位于第一滑動板（702）和第二滑動板（703）之間，所述第二管道（603）內設有單向閥，所述密封筒（604）側壁還連接有第三管道（8），所述第三管道（8）上設有自動泄壓機構。

2.根據權利要求1所述的半導體檢測夾緊工裝，其特征在于，還包括：

彈性桿（901），連接在箱體（1）上，所述彈性桿（901）頂部設有吸附棒（902）；

第一轉軸（6）轉動連接在箱體（1）內，所述電機（5）位于箱體（1）內，所述第一轉軸（6）與電機（5）的輸出端通過皮帶連接；

摩擦盤（9），固定連接在第一轉軸（6）上，所述摩擦盤（9）上設有凸塊，所述凸塊與彈性桿（901）相抵；

集塵罩（11），固定連接在箱體（1）上，所述吸附棒（902）位于集塵罩（11）內；

水箱（1002）和第三活塞組件（1001），位于箱體（1）內；

第二轉軸（801），轉動連接在箱體（1）內，且與第一轉軸（6）通過皮帶連接；

第三曲軸（10），固定連接在第二轉軸（801）上，且與第三活塞組件（1001）轉動連接；

其中，

所述第三活塞組件（1001）與水箱（1002）底部連接有第四管道（1003），所述集塵罩（11）內設有第二噴頭（1101），所述第三活塞組件（1001）與第二噴頭（1101）之間連接有第五管道（1004）；

所述第四管道（1003）和第五管道（1004）內均設有單向閥；

所述集塵罩（11）底部與水箱（1002）相連通。

3.根據權利要求2所述的半導體檢測夾緊工裝，其特征在于，所述集塵罩（11）底部連接有第六管道（12），所述第六管道（12）遠離集塵罩（11）的一端連接有除塵筒（1201），所述除塵筒（1201）內設有過濾板（1202），所述除塵筒（1201）底部與水箱（1002）之間通過第七管道（1203）相連接。

4.根據權利要求1所述的半導體檢測夾緊工裝，其特征在于，所述箱體（1）頂部設有支撐板（101），所述支撐板（101）上設有機器手臂（504），所述機器手臂（504）的輸出端設有吸盤（506）。

5.根據權利要求4所述的半導體檢測夾緊工裝，其特征在于，所述電機（5）的輸出端連接有第一曲軸（501），所述箱體（1）內設有第一活塞組件（502），所述第一曲軸（501）與第一活塞組件（502）轉動連接，所述機器手臂（504）上設有第一噴頭（505），所述第一活塞組件（502）與第一噴頭（505）之間連接有第一管道（503），所述第一管道（503）內設有單向閥。

6.根據權利要求2所述的半導體檢測夾緊工裝，其特征在于，所述工作臺（2）內滑動連接有夾持塊（301），所述夾持塊（301）與工作臺（2）之間連接有第一彈簧（3）。