[發明專利]一種玻璃基板清洗裝置

有效

• 申請號: 202110983037.0
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113798298B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 曹海勇;葛樹寶;閆冬成;楊園園
• 申請（專利權）人: 河北光興半導體技術有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 劉小峰;陳黎明

1.一種玻璃基板清洗裝置，其特征在于，包括：

機架；

清洗槽，所述清洗槽包括固定安裝在所述機架上的底板和圍繞所述底板的周邊設置的多個側板，所述底板設有開口；

傳送機構，所述傳送機構設置在由所述底板和所述側板圍成的空間內，所述傳送機構包括底座以及平行且間隔設置的多個下傳輸軸，所述下傳輸軸的軸線方向相對于水平面傾斜，所述傳送機構還包括上壓軸，所述上壓軸的安裝位置高于所述下傳輸軸的安裝位置，所述底座包括第一支架和第二支架；

升降機構，所述升降機構位于所述底板下方，所述升降機構包括能夠升高和降低的升降桿，所述升降桿延伸穿過所述底板并且用于支撐所述傳送機構，所述升降桿延伸穿過所述底板的開口，所述升降機構包括自動平升機構和頂升驅動器，所述自動平升機構為四點同步升降機構并且包括所述升降桿；以及

超聲波機構，所述超聲波機構包括超聲波發生裝置和超聲波震板，所述超聲波震板設置在所述底板和所述下傳輸軸之間，所述超聲波發生裝置用于驅動所述超聲波震板，其中所述超聲波震板安裝在所述升降桿頂端，所述第二支架支撐在所述超聲波震板上；

位于所述底板下方的升降氣缸，所述升降氣缸的輸出端安裝在所述超聲波震板的與第二支架相對的一端，所述第一支架設置在所述升降氣缸的所述輸出端上，所述升降氣缸驅動所述第一支架的位置升高。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述傳送機構還包括傳動齒輪，所述第一支架和所述第二支架包括安裝孔，所述下傳輸軸延伸穿過所述安裝孔，所述傳動齒輪安裝在所述下傳輸軸的端部。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，每個所述下傳輸軸沿其軸線方向間隔地設置有多個輸送輪。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述輸送輪是套在所述下傳輸軸上的O型圈。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述下傳輸軸在傳輸軸的軸線方向上相對于水平面傾斜5-10°。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架的頂部上方設有軸承座，所述上壓軸利用軸承支撐在所述軸承座上。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括傳感器和控制器，所述傳感器位于遠離基板進入的一側，所述傳感器用于檢測對應位置處是否存在玻璃基板并且將檢測信號發送至所述控制器。