[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體的清洗方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110982417.2
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN115938912A
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬知武
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞新科技術(shù)研究開發(fā)有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/683
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體的清洗方法，包括：將待清洗的半導(dǎo)體粘接在預(yù)設(shè)的UV膠帶上；通過紫外光對粘接有所述半導(dǎo)體的所述UV膠帶進(jìn)行第一次照射；通過滾輪滾動(dòng)擠出所述半導(dǎo)體與所述UV膠帶之間的氣泡；將所述UV膠帶放置在去離子水中，以第一預(yù)設(shè)方向和第二預(yù)設(shè)方向分別對所述半導(dǎo)體的表面進(jìn)行刷洗；將刷洗后的所述UV膠帶放置在焗爐中進(jìn)行烘干處理；通過所述紫外光對烘干后的所述UV膠帶進(jìn)行第二次照射，使得所述半導(dǎo)體與所述UV膠帶分離。采用本發(fā)明的技術(shù)方案能夠解決半導(dǎo)體邊緣由于夾具的阻擋導(dǎo)致無法清洗的問題，并解決由于清洗液的滯留而形成二次污染的問題，使得半導(dǎo)體本身充分暴露在清洗液中，清洗得更加充分。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體的清洗方法。

背景技術(shù)

目前，在半導(dǎo)體晶圓的制造加工過程中，其表面通常粘有膠和蠟等污染物，因此需要對半導(dǎo)體表面進(jìn)行清洗處理。

但是，在采用傳統(tǒng)方法對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗時(shí)，多是將其放在夾具中，連同夾具一起進(jìn)行清洗，而夾具邊緣的夾子對半導(dǎo)體晶圓的阻擋，將會導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓的邊緣往往無法清洗到，或是由于清洗液的滯留而形成二次污染。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種半導(dǎo)體的清洗方法，能夠解決半導(dǎo)體邊緣由于夾具的阻擋導(dǎo)致無法清洗的問題，并解決由于清洗液的滯留而形成二次污染的問題，使得半導(dǎo)體本身充分暴露在清洗液中，清洗得更加充分。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體的清洗方法，包括：

將待清洗的半導(dǎo)體粘接在預(yù)設(shè)的UV膠帶上；

通過紫外光對粘接有所述半導(dǎo)體的所述UV膠帶進(jìn)行第一次照射；

通過滾輪滾動(dòng)擠出所述半導(dǎo)體與所述UV膠帶之間的氣泡；

將所述UV膠帶放置在去離子水中，以第一預(yù)設(shè)方向和第二預(yù)設(shè)方向分別對所述半導(dǎo)體的表面進(jìn)行刷洗；

將刷洗后的所述UV膠帶放置在焗爐中進(jìn)行烘干處理；

通過所述紫外光對烘干后的所述UV膠帶進(jìn)行第二次照射，使得所述半導(dǎo)體與所述UV膠帶分離。

進(jìn)一步地，所述預(yù)設(shè)的UV膠帶的粘度為22N/in～24N/in，厚度為20μm～25μm。

進(jìn)一步地，第一次照射時(shí)間為30s，第一次照射后的所述UV膠帶的粘度為15N/in～16N/in。

進(jìn)一步地，所述第一預(yù)設(shè)方向的刷洗時(shí)間為25min，所述第二預(yù)設(shè)方向的刷洗時(shí)間為25min。

進(jìn)一步地，所述第一預(yù)設(shè)方向與所述第二預(yù)設(shè)方向垂直。

進(jìn)一步地，烘干溫度為100℃～120℃，烘干時(shí)間為25min。

進(jìn)一步地，第二次照射時(shí)間為5min，第二次照射后的所述UV膠帶的粘度為0.05N/in～0.06N/in。

進(jìn)一步地，所述紫外光的能量為4000mJ/cm²～4500mJ/cm²。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體的清洗方法，首先，將待清洗的半導(dǎo)體粘接在預(yù)設(shè)的UV膠帶上，通過紫外光對粘接有半導(dǎo)體的UV膠帶進(jìn)行第一次照射，并通過滾輪滾動(dòng)擠出半導(dǎo)體與UV膠帶之間的氣泡；接著，將UV膠帶放置在去離子水中，以第一預(yù)設(shè)方向和第二預(yù)設(shè)方向分別對半導(dǎo)體的表面進(jìn)行刷洗，并將刷洗后的UV膠帶放置在焗爐中進(jìn)行烘干處理；最后，通過紫外光對烘干后的UV膠帶進(jìn)行第二次照射，使得半導(dǎo)體與UV膠帶分離；通過使用UV膠帶粘接的方式對半導(dǎo)體進(jìn)行清洗，能夠解決半導(dǎo)體邊緣由于夾具的阻擋導(dǎo)致無法清洗的問題，并解決由于清洗液的滯留而形成二次污染的問題，使得半導(dǎo)體本身充分暴露在清洗液中，清洗得更加充分。

附圖說明